판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293594487

ID: 293594487
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050은 반도체 웨이퍼의 검사 및 도량형을 최적화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA UV 1050 시스템은 레이저 기반 및 분광학과 같은 다른 기술을 결합하여 정밀 도량형을 가능하게합니다. TCO (소유 비용) 를 절감하고 수명주기 비용을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 웨이퍼 검사, 도량형, 샘플링 및 성능 모니터링에 사용할 수 있습니다. TENCOR UV-1050 기계는 표면 평탄도의 고해상도 측정을 제공하는 레이저 간섭계를 통합합니다. 고정밀 광학 반사도, 표면 방향 및 표면 거칠기 측정을 얻기 위해 다중 파장 분광계가 통합되었습니다. 지형 샘플과 웨이퍼에서 로컬 반사 강도를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 편광 게이트 이미징 도구도 포함되어 있으며, 동시에 서피스 반사도 및 서피스 방향 측정이 가능합니다. 자산은 또한 자동화를 사용하여 높은 처리량과 재현성을 제공합니다. 또한 고급 이미지 분석 (advanced image analysis) 소프트웨어가 장착되어 웨이퍼의 평면 및 비 평면 지형을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이것은 조명이 최소화되고 노이즈 억제가 개선 된 파동 이미지에 의해 수행됩니다. PROMETRIX UV-1050 모델에는 온라인 도량형 및 장애 분석을 포함한 고급 도량형 및 검사 기능이 제공됩니다. 형태, 반사도, 서피스 거칠기, 결함 토폴로지, 서피스 방향 등 웨이퍼의 중요한 속성에 대한 자세한 정보를 제공할 수 있습니다. 또한, 장비는 전체 태블릿 표면에서 여러 가지 측정을 수행할 수 있습니다. 즉, 단계별 스캔을 사용하여 정확도를 높일 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050 시스템은 고급 결함 격리, 분류 및 분석도 제공합니다. 여기에는 정적 및 동적 장애 분석, 공간적으로 해결된 결함 감지, 재료 독립적인 결함 감지 등이 포함됩니다. 이러한 기능은 PROMETRIX UV 1050을 빠르고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 장치로 만듭니다.
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