판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9396481

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 성장하는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 기능에는 최대 16 개의 웨이퍼를 동시에 검사 할 수있는 고정밀, 다중 축 검출기가 포함됩니다. 이 시스템은 고해상도 검사 (High Resolution Inspection) 및 도량형 (Metrology) 기능을 갖추고 있으며, 검사 측의 해상도를 높이고 도량형의 정확도를 높일 수 있습니다. KLA RS75에는 200mm부터 다양한 웨이퍼 크기를 지원하는 대형 링 스테이지 (최대 회전 속도 24 rpm, 최대 스캔 속도 13.7mm/s) 가 장착되어 있습니다. 검출기는 지능을 내장하고 있으며 자동으로 결함을 식별 할 수 있습니다. 측정 능력으로 볼 때 TENCOR RS 75에는 매우 민감한 멀티 축 장치와 33 개의 광 증식 튜브 기반 검출기가 장착되어 있습니다. 이 기계는 배율 1X에서 4000X까지의 감지 기능을 제공합니다. 이 도구는 표면 지형, 입자 밀도, 선 너비, 표면 평면도, 광학 매개변수, CD/x-dimension/y-dimension, 대비 및 line-edge/space 거칠기와 같은 여러 매개변수를 측정할 수 있으며 3D 회로 및 패키지 다이 스택의 중요한 치수를 측정할 수 있습니다. 또한, 에셋은 패턴 인식 (pattern recognition) 소프트웨어를 특징으로하며, 다중 축 측정 모델과 함께 사용할 경우 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75는 다양한 기술을 사용하여 스테이지의 자동 표면 보정, 자동 초점 감지, 라인 너비 측정 및 패턴 인식을위한 고급 알고리즘 등 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 또한 장비 노이즈를 최소화하는 여러 개의 물리적 실드 (shield) 가 있으며 클린 룸 (clean-room) 및 오염 데이터 샘플을 캡처하기위한 통합 입자 카운터 (counter) 가 특징입니다. 이 시스템은 또한 수율 개선, 근본 원인 분석, 재료 스크러빙을위한 과거/현재 데이터를 검사하고 분석하기 위해 최대 2 백만 개의 이미지를 저장할 수 있습니다. TENCOR RS75는 다용도 테스트 및 도량형 기능 외에도 포괄적인 소프트웨어 제품군을 제공합니다. 전체 소프트웨어 제품군은 고급 프로그래밍, 측정 설정, 데이터 처리 및 분석 기능을 제공합니다. 또한 웨이퍼 보기/분석, 여러 이미지 오버레이, 데이터 세트 비교 등의 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 엔지니어에게 데이터를 빠르고 정확하게 검토하고 실시간 분석 (real-time analysis) 을 수행할 수 있는 능력을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 패키지의 일부로, RS 75에는 반도체 제작 요구 사항 (예: 중요한 프로세스 매개변수에 대한 비닝 (binning) 및 신속한 액세스) 을 위해 구성된 프로세스 제어 응용 프로그램 툴박스가 포함되어 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75는 고성능 장치, 빔 스티어링 MEMS 등 다양한 어플리케이션에 대한 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 솔루션입니다. 정교한 검출기 (detector) 는 고해상도 스캔 장치를 제공하며, 통합된 측정 및 데이터 처리 도구를 통해 엔지니어는 측정값을 빠르고 정확하게 분석하고 중요한 프로세스 매개변수에 액세스할 수 있습니다. PROMETRIX RS 75는 대량의 데이터와 종합적인 소프트웨어 제품군을 저장하는 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형을 위한 일체형 솔루션을 제공합니다.