판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9304703

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 KLA Corporation의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 제조업체의 요구를 충족하도록 설계된 완전 자동화된 사용자 친화적 시스템입니다. KLA RS75는 저항, 커패시턴스, 인덕턴스 및 전압과 같은 전기 매개변수를 결정할 수 있습니다. 또한 서피스 지형, 서피스 프로파일, 서피스 황삭, 서피스 프로파일 등의 광학 매개변수를 측정할 수 있습니다. 텐코 RS 75 (TENCOR RS 75) 는 웨이퍼를 적재 및 언로드하기위한 로봇 암을 갖춘 완전 자동화 장치입니다. 진동 및 소음을 최소화하도록 설계된 견고한 경량 (light-weight) 플랫폼이 있습니다. 머신에는 웨이퍼가 측정 에셋에 정확하게 정렬되도록 하는 8축 정렬 도구 (8축 정렬 도구) 가 있습니다. 또한 RS 75에는 데이터 획득 및 신호 처리 모듈 (signal processing module) 이 있으며, 이 모듈은 웨이퍼를 지속적으로 모니터링하여 측정 정확도에 영향을 줄 수있는 모든 표면 피쳐를 감지합니다. KLA RS 75에는 내장형 CCD 카메라와 고해상도 LCD 모니터가 장착되어 있어 결함 감지를 위한 웨이퍼 (wafer) 표면을 정확하게 관찰할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 자동 웨이퍼 크기 감지 장비 (automated wafer size detection equipment) 가 장착되어 있어 모든 웨이퍼의 직경과 반지름을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 정확하고 반복 가능한 측정을 보장하도록 설계되었습니다. 민감한 측정 및 비 접촉 검출을위한 고정밀 정전용 센서가 장착되어 있습니다. 견고하고 신뢰할 수 있는 설계를 통해 다양한 매개변수에 걸쳐 일관된 측정 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 효율적인 데이터 통합을 위한 고속 데이터 전송 시스템이 있습니다. KLA RS-75는 정확한 웨이퍼 측정을 위해 연구 과학자에서 기술자에 이르기까지 모든 수준의 사용자를 위해 설계되었습니다. 동급 최강의 기술로, 안정적이고, 반복 가능하며, 정확한 웨이퍼 측정이 가능합니다. 견고한 디자인은 가혹한 산업 환경에서 장기적으로 사용하도록 설계되었습니다.