판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9296599

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 Wafer Testing and Metrology Equipment는 반도체 프로세스 및 장치 특성화의 까다로운 요구를 충족하기 위해 설계된 완전 자동화된 높은 처리량 솔루션입니다. KLA RS75는 임계 치수 (CD) 측정, 웨이퍼 모양 (WS) 측정, 표면 텍스처 (ST) 측정 및 프로세스 제어를 포함한 통합 광학 도량형 도구 세트를 제공합니다. TENCOR RS 75는 웨이퍼를 통해 레이저를 지시하고 피라미드 거울을 통해 데이터 포인트를 수집함으로써 작동합니다. 이 고급 광학 스캔 시스템은 서브 미크론 해상도로 측정 할 수 있습니다. 강력한 광 서브시스템 (Optical Subsystem) 은 자동화된 재료 처리 플랫폼과 결합하여 웨이퍼를 다른 위치로 이동하여 추가 분석을 수행합니다. 또한이 장치는 최첨단 정렬 및 위치 지정 기술을 사용하여 서브 미크론 반복성을 제공합니다. 고급 분석 소프트웨어를 갖춘 TENCOR RS75는 다양한 특성을 신속하게 수집하고 복잡한 3D 맵과 그래픽을 생성할 수 있습니다. 이 매우 정확 한 기계 는, 전통적 인 수작업 기법 에 비하여, 시간 의 일부 를 정확 하고, 반복 할 수 있는 측정 결과 를 제공 한다. 전 세계 Fabs 에 사용되는 RS75 는 수익률 (Yield Loss) 을 발생시키기 전에 잠재적인 Process Excurition 을 파악하는 데 의존하고 있습니다. 실시간 프로세스 정보 (real-time process information) 를 통해 데이터 수집 및 후속 분석을 사전 예방적으로 제어할 수 있으며, 이를 통해 잠재적인 프로세스 예외 사항을 파악하고 분류할 수 있습니다. 높은 처리량, 빠른 처리 속도, 탁월한 수준의 데이터 무결성을 자랑하는 PROMETRIX RS75 (PROMETRIX RS75) 는 프로세스 제어 및 디바이스 특성화용 웨이퍼를 측정하는 탁월한 솔루션을 제공합니다.