판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9172359

ID: 9172359
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 최첨단 반도체 장치 제조를 가능하게하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 정교한 알고리즘과 고급 자동화 기술 (Advanced Automation Technology) 을 사용하여 고급 반도체 제품의 분석 특성화를위한 복잡한 측정 프로세스를 용이하게합니다. KLA RS75는 낮은 수준의 에너지 소비에서 높은 처리량과 정확도로 작동합니다. 특허를받은 SixAxisTM 측정 기술과 여러 고급 신호 처리 알고리즘 (SixAxisTM Measurement Algorithm) 을 결합하여 사용자에게 정확한 샘플 측정을 제공합니다. 이 장치는 일반 전기 측정 (general electrical measuration) 에서 복잡한 스트레스 테스트 (stress test) 에 이르기까지 다양한 웨이퍼 테스트 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 이 기계는 12.5m 광학 테스트 헤드로 구성되어 있으며, 실리콘 웨이퍼의 작은 기능을 테스트하는 데 이상적입니다. 탐지 범위는 0.5-3.5mm이며, 미크론 스케일 테스트에 향상된 설정을 제공 할 수 있습니다. 또한이 도구는 폴리 이마이드, 카프 톤 ®, 에폭시, 스핀 온 글라스 (SOG) 및 민감한 반도체 장치에 사용되는 기타 재료와 같은 다양한 기판 재료와 호환됩니다. 또한 고정 비접촉식 (Static Contactless) 측정을 수행할 수 있는 안티스틱 (Anti-Stiction) 알고리즘이 내장되어 있어 민감한 샘플을 테스트할 때 신뢰성과 정확성이 향상됩니다. 또한 TENCOR RS 75에는 강력한 이미징 알고리즘과 3D 도량형 (3D Metrology) 기능이 장착되어 있어 빠른 처리 시간 내에 높은 정확도의 샘플을 분석 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 결함 검사를 수행할 수 있으며, 매우 작은 크기의 테스트 사이트에서 다이 투 다이 (die-to-die) 이상과 이상을 감지 할 수 있습니다. 또한 전체 자동화 (full-automation) 기능을 통해 직관적이고 사용자에게 친숙한 운영 모델을 제공하므로 쉽게 구성하고 사용할 수 있습니다. 전반적으로, RS 75는 반도체 생산 산업의 리더에게 이상적인 효과적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 지능형 이미징 알고리즘과 함께 제공되는 고급 SixAxisTM 측정 기술과 정확한 샘플 측정을위한 3D 도량형 (3D metrology) 기능이 있습니다. 이 시스템은 또한 결함을 빠르고 정확하게 검사할 수 있으며, 전체 자동화 (full-automation) 기능을 통해 쉽게 구성하고 사용할 수 있습니다.
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