판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9153014
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판매
ID: 9153014
웨이퍼 크기: 2"-8"
빈티지: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Handler:
Desktop
Without wafer transfer handler
Pentium Pro 150 MHz Computer
64M DRAM
High resolution LCD color monitor, 15"
Hard Disk Drive (HDD): 200M
Diskette drive, 3.5"
Capacity: 1.44 MB
Data transfer: SECS II / RS232 Communication
Measurement capabilities:
Routine check: 1-30 Sites programmable (ASTM Standard tests included)
Contour / 3-D Map, diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 sites programmable
Probe qualification: 20 Sites
Single / Dual configuration options
Analysis capabilities:
Contour, XY Die, 3-D surface maps
Diameter scan
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing and data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference and ratio maps
Measurement specifications:
Range: 5 mΩ/sq - 5 mΩ/sq
Typical measurement time: 1.2 sec per test site
Based on NIST (NBS) standard wafers corrected to 23°C
Repeatability: <0.2% (1 Sigma)
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 0.2 나노 미터 (0.2 나노 미터) 의 고급 측정 정확도를 가지므로 웨이퍼 특성 요구에 이상적입니다. 또한 평면 및 3D 모양 측정을위한 이미징 기능을 제공합니다. 이 장치는 서로 다른 모든 구성 요소를 관리하고, 시스템 설정을 구성할 수 있고, KLA (Advanced Metrology and Test) 솔루션과 통합되도록 설계된 강력한 소프트웨어 패키지로 구성되어 있습니다. 소프트웨어 제품군은 다양한 모듈로 구성되며, 사용자는 보정, 데이터 분석, 보고서 작성 등을 수행할 수 있습니다. KLA RS75에는 독점 비전 툴이 장착되어 있으며, 여기에는 자동 초점 조정 및 최적화된 카메라 노출 제어 기능을 제공하는 통합 포커스 튜너 (focus tuner) 가 포함되어 있습니다. 이 센서는 고해상도 2048 x 1536 포토 사이트 어레이를 사용하여 표본의 이미지를 캡처합니다. 또한, 고급 자동 초점 에셋 (autofocus asset) 이 있으며, 이 에셋을 사용하면 표본이 시력 장비에 제시되는 동안 모델이 자동으로 초점 평면을 조정할 수 있습니다. 또한 TENCOR RS 75는 자동 자동 샘플링 기능과 통합되어 웨이퍼 측정 (wafer measurement) 간에 빠르게 전환 할 수 있습니다. 이 시스템은 고해상도 ASIC 및 고속 모터를 사용하여 표본을 1,000mm/초의 속도로 이동할 수 있습니다. 따라서 테스트 일정을 최소화하고 출력을 최대화할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 프로브와 센서가 제공됩니다. TDI (Timedelay Integration) 는 피쳐의 높이, 너비, 깊이를 측정할 수 있는 최대 양의 중요한 비접촉 측정 기능을 제공합니다. 또한 TDI 도구에서 캡처한 이미지의 확대/축소 배율을 조정하여 자세한 3D 이미지를 제공할 수 있는 가변 광학 머신 (optics machine) 이 있습니다. 또한, 자산에는 매핑 (Mapping) 에서 모서리 감지 (Edge Detection) 에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을위한 다양한 비전 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 엔드 오브 라인 테스트 (End-of-Line Testing) 에서 웨이퍼 결함 검출 (Wafer Defect Detection) 에 이르기까지 다양한 검사 도구가 있습니다. 향상된 사용자 인터페이스, 사용자 친화적 제어 기능, 강력한 분석 기능을 갖춘 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75는 까다로운 프로젝트에 적합합니다.
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