판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293745457

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 장비의 장치 매개 변수 검사 및 분석을위한 고성능, 완전 자동화 된 도구입니다. 다양한 고급 기능을 통해 특성, 검증, 품질 관리 프로세스를 지원합니다 (영문). KLA RS75는 검사, 반사 검사 및 IV 곡선, 고급 도량형 시스템, 강력한 데이터 분석 도구를 갖춘 고해상도 이미징 스테이션을 갖춘 올인원 (All-in-One) 솔루션을 제공합니다. 이미징 스테이션은 디지털 이미지 상관 관계 (DIC) 기술을 사용하여 고해상도 결함 및 CD (Critical Dimension) 검사에 사용할 수있는 진정한 3D 고해상도 이미징을 지원합니다. TENCOR RS 75의 반사 검사 장치는 입자, 라인 에지 거칠기 (line-edge roughness) 및 장치 성능에 영향을 줄 수있는 기타 불균일 요소와 같은 광학 간섭을 감지하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 SPC (Advanced Statistical) 및 현장 결함 분석을 제공하여 더 큰 문제를 나타낼 수있는 비정상적인 패턴을 감지합니다. 이미징 (imaging) 및 반사 (reflex) 기능과 함께 RS-75는 장치 매개변수의 정확한 측정을 위한 강력한 도량형 도구를 갖추고 있습니다. 여기에는 최첨단 배치 정확도 (EPA) 및 프로세스 제어 기능 (PC-C) 및 볼륨 측정 및 프로세스 제어를 위한 고속 멀티 칩 도량형 자산이 포함됩니다. 도량형 모델에는 다양한 필름 두께 측정 기능, 다양한 웨이퍼 유형 (wafer type) 및 기술에 대한 데이터 분석 기능 (data analysis) 도 포함되어 있습니다. 마지막으로, 장비에는 이미지 처리 (imaging) 및 사용 가능한 도량형 (metrology) 데이터를 모두 분석할 수 있는 고급 도구가 있는 포괄적인 데이터 분석 제품군이 장착되어 있습니다. 이 툴은 강력한 시각화 (Visualization) 기능을 포괄적인 통계 데이터 및 기능 분석과 결합하여 로컬/글로벌 프로세스 추세를 신속하게 파악할 수 있게 해 줍니다. 강력한 통합 기능을 갖춘 PROMETRIX RS 75 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 최신 반도체 특성, 검증, 품질 관리 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.