판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293677302
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 반도체 웨이퍼에서 수율 크리티컬 및 설계 크리티컬 치수를 정확하고 안정적으로 측정하도록 설계된 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA RS75 는 고급 자동 광 검사 시스템 (5-way optical wafer head) 을 갖추고 있어 단일 wafer 테스트 사이클 내에서 다양한 도량형 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 고해상도, 고해상도 선형 단계가 포함되어 있으며, 정밀도 2m 이내에서 측정 할 수 있으며, 웨이퍼의 안전하고 안정적인 유지를위한 대형 진공 척 (vacuum chuck) 이 있습니다. 이 기능은 단일 다이 (die) 에서 3 개 이상의 테스트/도량형 지점을 동시에 측정할 수 있게 해 주며, 시간을 절약하고, 프로세스 처리량을 효율적으로 보장합니다. TENCOR RS 75는 또한 디페오-일루미네이터 (Defeo-Illuminator) 로 알려진 특수 고성능 오프 축 조명기를 사용하여 웨이퍼 표면에 거의 정상적으로 광원을 투영합니다. 이렇게 하면 검사 중에 이미지 명암비 (image contrast) 와 해상도 (resolution) 를 개선하여 결함 유형과 위치를 안정적으로 식별할 수 있습니다. 또한 Defeo-Illuminator (Defeo-Illuminator) 는 다양한 카메라 기술을 지원하므로 반사/비반사 테스트/도량형 어플리케이션에 적합한 고품질 이미지를 얻을 수 있습니다. TENCOR RS-75 는 개방형 아키텍처 소프트웨어를 기반으로, 데이터 분석 및 시각화를 위한 타사 소프트웨어 솔루션과 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한, 자산에는 고급 소프트웨어 툴이 포함되어 있으므로 측정 결과를 빠르고, 정확하게 조정, 확인, 분석할 수 있습니다. 이를 통해 모델은 반복 가능한 측정 (repeatable measurement) 을 제공할 수 있으므로 운영 환경에서 가장 높은 수준의 일관성과 정확성을 보장할 수 있습니다. 마지막으로 PROMETRIX RS 75 장비에는 포괄적인 리소스 및 지원 패키지가 제공됩니다. 따라서 고객은 시스템을 최대한 활용하고, 다운타임을 최소화하고, 수익률을 극대화할 수 있습니다. 클라라 (KLA) 는 항상 질문에 답하고 기술 지원을 제공함으로써 고객이 자신의 KLA RS 75 장치를 최대한 활용할 수 있도록 기꺼이 노력하고 있습니다.
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