판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293628452

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
ID: 293628452
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 반도체 기판의 전기 및 기계적 특성을 매우 정확하게 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 산업에서 사용되는 다양한 재료 (예: 절연체, 금속, 기타 겹치는 층) 의 특성을 측정하도록 구성됩니다. 이 기기의 탁월한 성능과 사용이 간편한 인터페이스는 다양한 데이터 획득 및 분석 기능을 제공합니다. KLA RS75는 표면 잔류 응력 및 스트레스 관련 매개변수를 정확하게 추적하는, 안정적이고 자동화된 다중 레벨 스캔을 제공합니다. 이 다중 레벨 스캔은 지형, 서피스 거칠기, 두께 등 3 차원에서 웨이퍼의 서피스 치수 특성을 빠르게 측정합니다. 이 장치는 또한 일상적인 자체 교정 정확성을 보장하는 통합 자체 교정 루틴을 포함합니다. 안정적인 piezo 기반 드라이브와 넓은 측정 범위를 가진 TENCOR RS 75는 정확하고 재현 가능한 결과를 제공합니다. TENCOR RS-75는 효율적인 테스트 스테이션 운영을 위해 모듈식 아키텍처로 설계되었습니다. 다양한 샘플 홀더 (sample holder) 및 고정장치 (fixture) 및 사용자 정의 가능한 스캔 매개변수를 웨이퍼 테스트에 사용할 수 있습니다. X-Y 스캔, 라인 스캔, 원형 스캔 등 여러 샘플 스캔 옵션도 사용할 수 있습니다. 또한, 여러 비디오 입력 옵션을 사용하여 테스트 중에 샘플을 실시간으로 이미징할 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 장착되어 있어 매개변수를 사용자 정의하고, 테스트 프로세스를 모니터링하고, 테스트 결과를 검토할 수 있습니다. 사용 편이성 기능은 반도체 기술자들 사이에서 인기있는 선택입니다. 손쉬운 데이터 획득 및 분석을 위해, 이 기계에는 응력/변형 분석 (stress/strain analysis) 및 수명 응력 분석 (lifetime stress analysis) 과 같은 다양한 데이터 분석 도구가 포함되어 있습니다. 다양한 기능을 갖춘 PROMETRIX RS-75는 반도체 기판의 전기, 기계 및 치수 특성을 측정하고 분석하는 데 필수적인 도구입니다. 이 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 도구는 안정적인 데이터 정확성과 재현성을 통해 탁월한 성능을 제공하여 모든 반도체 관련 애플리케이션에 이상적인 제품입니다.
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