판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #197154

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 반도체 산업에 대한 최신 프로세스 제어 및 품질 보증/제어 요구를 지원하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 서브 미크론 임계 치수에 걸친 정확성과 정확성을 제공하는 KLA RS75 (CLA RS75) 는 고급 프로세스 제어 및 임계 치수 도량형에 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템에는 통합 도량형, 테스트, 프로세스 제어, 결함 진단 기능이 장착되어 있으므로 전체 처리량을 저하시키지 않고 품질 보증/제어가 가능합니다. 고급 광학은 중요한 기능을 개별적으로 또는 배치 (batch) 모드로 측정할 수 있습니다. 즉, 장치가 전체 신뢰 품질 보증 (full trust quality assurance) 또는 프로세스 제어 (process control) 와 함께 사용될 수 있습니다. 이 장치는 이미지 프로세싱 (image processing) 과 패턴 인식 (pattern recognition) 을 결합하여 모든 운영 장비의 데이터와 통합된 웨이퍼 레벨 이미지에서 자동 측정을 수행합니다. TENCOR RS 75는 수동 노동을 최소화하는 자동 웨이퍼 로더 (Automated Wafer Loader) 와 와퍼 매핑 모듈 (Wafer Mapping Module) 을 포함하여 여러 구성 요소로 구성되며, 로트 내 모든 웨이퍼에서 테스트 결과를 자세히 확인할 수 있습니다. 이 기계의 정밀도 (precision) 는 다양한 브랜드의 웨이퍼 (wafer) 에 일관된 결과를 제공하는 반면, 유연한 인터페이스는 다양한 프로덕션 프로세스에 쉽게 구성할 수 있습니다. 공구 콘솔은 프로세스 제어 및 장애 진단을 위해 데이터 수집 및 분석을 용이하게 합니다. 또한 단일 라인 모서리 거칠기 (single line edge roughness) 및 컨택트 홀/간격 (State-of-Art Wafers) 을 포함하여 작은 피쳐를 측정할 수 있습니다. PROMETRIX RS-75에는 자동 정렬 기능도 장착되어 있어 최고의 정확성과 반복성이 가능합니다. 이는 여러 측정 및 프로세스가 필요한 복잡한 애플리케이션에 매우 중요합니다. 에셋은 또한 고해상도 컬러 카메라 (color camera) 를 장착하여 웨이퍼의 컬러 이미지를 제공할 수 있습니다. 이 모델은 수작업 없이 빠르고 안정적인 샘플 (sample) 준비를 용이하게 하며, 샘플 품질과 보안을 유지할 수 있습니다. 또한 다양한 프로세스의 처리 능력, 성능, 정확성, 처리량 향상 등 다양한 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 요약하자면, RS-75 는 매우 까다로운 성능 및 프로세스 제어 요구 사항을 충족하는, 매우 진보된 wafer 테스트 및 도량형 장비입니다. 유연한 인터페이스 및 고해상도 이미징과 결합된 정확성과 정확성은 TENCOR RS-75 (TENCOR RS-75) 를 반도체 산업에 이상적인 시스템으로 만듭니다.