판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TCA #9135668

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TCA는 다양한 웨이퍼 매개변수에 대한 안정적이고 빠른 데이터 검색을 제공하기 위해 설계된 고급형 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 공정 제어 (process control) 및 엔지니어링 (engineering) 에 사용되는 웨이퍼 특성을 테스트, 측정 및 분석하기 위해 산업 생산 환경에서 사용됩니다. KLA RS75TCA는 최고 수준의 Optic 및 카메라 기술을 활용하여 웨이퍼 기능 및 결함에 관한 최고의 정보를 제공합니다. 여기에는 두께, 오버레이 공차, 선 및 공간 너비, 임계 치수 높이 등의 피쳐가 포함됩니다. 또한 결함 너비, 높이 및 영역을 식별하고 측정할 수 있습니다. TENCOR RS-75TCA는 정확한 데이터 캡처 및 측정을 위해 극도로 정밀하게 움직이는 3 축 스캐닝 단계를 사용합니다. 스테이지는 최대 10 나노미터의 동작 해상도를 제공하는 최첨단 모션 컨트롤에 의해 구동됩니다. 또한 특허 받은 혁신적인 동적 자동 초점 (Dynamic Autofocus) 을 사용하여 패턴 구조의 초점 이미지를 빠르고 정확하게 만들 수 있습니다. 이 기계의 정전기 간섭 현미경 (capacitive interferometric microscope) 은 뛰어난 광학 및 측정 해상도를 제공하여 사용자가 최대 1 미크론 크기의 작은 기능을 식별 할 수 있습니다. 간섭 현미경은 마이크로 스케일 웨이퍼 검사 및 고급 CD-SEM 및 AFM 이미징을 허용합니다. RS-75 TCA에는 정확한 측정 기능 외에도 다양한 강력한 기능 (예: 빠른 테스트 및 데이터 분석) 이 포함되어 있습니다. 여기에는 실시간 웨이퍼 매핑, 자동 결함 검사, 정교한 데이터 추세, 시각화, 분석 등이 포함됩니다. 이를 통해 공구는 처리량 (throughput) 과 수율 (revield) 을 향상시키기 위해 해결할 수 있는 프로세스 편차를 신속하게 식별할 수 있습니다. TENCOR RS-75/TCA는 매우 안정적이고 비용 효율적인 생산 툴로서, 다양한 업계에서 사용할 수 있습니다. 업계 최고의 정확성을 통해 운영자는 Wafer 기능과 결함을 신속하게 테스트, 측정, 분석할 수 있으며, 이를 통해 프로세스 최적화를 제어할 수 있습니다.