판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TC #293761701

ID: 293761701
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Resistivity mapping system, 8" 2000 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TC는 반도체 제조업체를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이를 통해 사용자는 두께, 컴포지션, 물리적 크기 등의 중요한 반도체 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. KLA RS75/TC는 고해상도 광학 현미경 (30 나노미터), 광학 이미지 분석 도구 및 최첨단 알고리즘으로 뛰어난 스캔 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 자동 웨이퍼 포지셔너 (automated wafer positioner) 를 사용하여 사용자의 참여를 최소화하면서 다양한 웨이퍼 형식을 빠르고 정확하게 스캔합니다. 또한 초기 웨이퍼를 스캔 한 후 1 초 동안 웨이퍼 기능을 정확하게 측정하는 DIC (Speedy Digital Image Correlation) 기능이 있습니다. TENCOR RS-75TC에는 추적 가능성, 반복 가능성 및 유연성을 위해 설계된 강력한 분석 패키지 인 자동 스테이지 리프트 장치 (Automated Stage Lift Unit) 및 TraxWriter 분석이 장착되어 있습니다. TraxWriter는 사용자가 최대 9 개의 스캔 정의를 만들 수 있으며, 이를 사용하여 피트 쇼 (pit show), 입자 수 (particle counts) 및 fiducial 마크와 같은 기능을 식별할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75/TC는 필름 두께, 지형, 접촉 저항 및 광학 품질과 같은 다른 많은 매개 변수를 측정 할 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75/TC에는 측정 기능을 향상시키기 위해 추가 할 수있는 다양한 옵션 도구가 있습니다. 여기에는 핫 척 어댑터 (hot chuck adapter) 가 포함되며, 이를 통해 웨이퍼 포지셔너는 테스트 중에 가열 된 웨이퍼를 유지 할 수 있으며, 마모와 프로브 수명을 연장하는 프로브 클리너 (Probe Cleaner) 가 포함됩니다. 레이저 사이징 모듈은 필름 두께를 더 정확하고 정확하게 측정하는 데 사용할 수 있으며, 리크 로케이터 (Leak Locator) 는 연산자가 웨이퍼 표면의 누수를 검사하고 식별하도록 도와줍니다. 전반적으로 KLA RS 75/TC는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 포괄적 인 기계입니다. 또한 고해상도 광학 장치, 고급 알고리즘, 자동 스테이지 리프트 (automated stage lift), 다양한 구성 요소 (optional component) 를 통해 중요한 반도체 매개변수를 더욱 빠르고 빠르게 테스트할 수 있습니다. 이 도구는 탁월한 스캐닝 기능과 정밀 측정 (precision measurement) 을 제공하여 제조 공정을 개선하고 처리량을 늘리고자 하는 반도체 (semiconductor) 제조업체에 적합합니다.
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