판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TC #179989
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판매
ID: 179989
Resistivity mapping system, 8"
Hardware Configurations:
Handler Type: H2 handler, with two open cassette platens, it can be
attached with ASYST Load port for SMIF fab
Computer: 486/66 MHz
SW(StatTrax) Version : ST-6.70
Probe Head: x1 (Probe head type is optional depends on request)
Standard User interface - Monitor, Keyboard, trackball
Standard Media : Floppy Disk(1.44M)
Measurement Specifications:
Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS)
standard wafers corrected to 23oC
Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe
Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head.
Temperature Accuracy: ±0.5oC
Temperature Repeatability: ±0.2oC
Measurement Capabilities:
Routine check: 1-30 sites programmable
XY map: up to 1,200 sites programmable
Single or dual configuration capability
All standard wafer sizes: 100, 125, 150 and 200 mm
Analysis Capabilities:
Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Trend and SQC charts
Histograms
Calibration curves for low dose monitoring
Data Transfer Capabilities:
SECS-II, RS232 communication
Enhanced SECS-II for fully automated operation (optional)
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TC는 반도체 장치, 회로 및 관련 기술에 대한 빠르고 정밀한 연구를 위해 설계된 패키지 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동 광학 검사 (AOI) 및 임계 치수 (CD) 측정과 하위 미크론 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 AOI 및 CD 측정을 동시에 수행할 수 있는 견고한 프레임으로 제작되어 빠른 장치 특성화 (characterization) 정확성을 제공합니다. KLA RS75/TC는 전동식 전동식 트레이 (Motorized Tray) 와 검색 렌즈 (Search Lens) 를 갖춘 전용 광학 헤드를 통해 고해상도 도량형 데이터를 제공하여 빠르고 정밀한 스캔 기능을 제공합니다. 이 장치는 고급 망원경 및 자동 보기 방법을 사용하여 고객 요구 사항에 따라 결함 및 CD 매개변수를 정확하게 감지, 측정, 분석할 수 있습니다. 자동 조정 기능은 웨이퍼 유형 및 사용자정의 매개변수에 따라 광학 성능을 최적화합니다. 독점적 인 고급 3D 분석 소프트웨어 제품군에는 포괄적이고 포괄적인 도량형 및 결함 분석을 위한 강력한 역광학, CD 및 GQA 도구가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 많은 주요 웨이퍼 생태학 모델과 편리하게 통합되어 건강 및 위험 평가 분석 (Health and Risk Assessment Analysis) 을 단순화하면서 정확하고 일관된 결과를 보장합니다. TENCOR RS-75TC (TENCOR RS-75TC) 는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 광 정렬 및 샘플링 매개변수를 효율적으로 제어할 수 있으며, 단일 스캔에서 결함과 CD 측정을 안정적으로 달성할 수 있습니다. 화려하게 켜지고, 제어되는 환경은 밝기 수준이 일관되게 유지되므로 시각적 (visual) 과 결함 (defect detection) 을 최적화할 수 있습니다. 또한 PROMETRIX RS-75TC는 데이터 수집 및 분석을 간소화하는 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 또한 웨이퍼 레시피 (wafer recipe), 전송 가능한 스캐닝 트랙 (scanning track) 및 여러 결함 특성 검토를 동시에 복제 및 공유할 수 있습니다. 또한 '분석 보고서 테이블 (Analysis Report Table)' 은 고객이 쉽게 프로그래밍 할 수있는 보고 도구를 제공하여 단일 실험에서 .csv 또는 .xls 형식으로 데이터를 내보낼 수 있습니다. KLA RS-75/TC는 광범위한 반도체 장치, 회로 및 기술에 대한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 완벽한 도구입니다. 광 정렬 (Optical Alignment), 샘플링 매개변수 (Sampling Parameter), 자동화된 결함 검사 (Automated Defect Inspection) 를 완벽하게 제어하여 고객의 장치를 안정적으로 연구하고 일관성을 보장할 수 있습니다. 고급 기능과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 머신을 쉽게 사용할 수 있으며, 고객은 손바닥에 강력하고, 빠르고, 정확도가 높은 도량형 (metrology) 도구를 사용할 수 있습니다.
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