판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9312925

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA는 반도체 산업의 복잡한 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 광학 및 레이저의 최신 발전을 활용하여 웨이퍼 표면의 고속, 비접촉 (non-contact) 스캔을 지원합니다. 도펀트 깊이, 결함 크기, 저항력, 에치 깊이, 스크래치 깊이 및 SEM 매개변수와 같은 장치 매개변수를 정확하게 측정합니다. 이 장치는 가장 가까운 기존 스캐닝 머신보다 최대 500 배 빠른 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 유연성은 Wafer 크기에 관계없이 높은 처리량과 반복 가능한 측정을 가능하게 합니다. 또한 통합 표면 분석, 프로세스 모니터링, 결함 감지 및 도량형 소프트웨어가 제공됩니다. KLA RS 55 TCA는 측정 정확도를 극대화하기 위해 넓은 시야를 사용합니다. 고급 근거리 이미징 기능을 통합하여 웨이퍼 (wafer) 의 서브 나노 미터 구조에 대한 통찰력을 제공합니다. 또한, 웨이퍼 검사를위한 환상 및 영상 광원이 있습니다. 비전 도구 (vision tool) 의 픽셀 해상도는 30m이며, 중요한 웨이퍼 특성을 빠르고 안정적으로 분석 할 수 있습니다. TENCOR RS-55/TCA는 완전 자동화 자산입니다. 완전하게 통합된 "로봇 '과 비전 (vision) 모델을 활용하여 중단 없이 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 이 장비는 수백 개의 웨이퍼 측정을 동시에 허용하며 1 시간 안에 최대 1000 개의 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 청결, 표면 마무리 및 오염 수준을 평가할 수 있습니다. 또한, 시력 은 가장 작은 "칩 '을 포함 하여 다양 한" 웨이퍼' 크기 를 수용 할 수 있도록 조정 된다. PROMETRIX RS-55/TCA에는 완전한 표준 호환 프로토콜을 갖춘 소프트웨어 및 데이터 분석 도구가 내장되어 있습니다. 이 소프트웨어는 자동화된 기능 인식, 장애 격리, 통계 데이터 추세를 제공합니다. 또한, 이 장치는 높은 수준의 정확도로 자동화 및 운영에 필요한 지능을 제공합니다. TENCOR RS-55TCA는 3 차원 광학 표면의 검사, 측정 및 데이터 로깅을 위해 설계되었습니다. 즉, WAFER (Wafer and It Critical Parameter) 를 완벽하게 파악하여 항복 최적화를 위한 최적의 조정 작업을 수행하는 데 도움이 됩니다. 무엇보다도 PROMETRIX RS 55 TCA는 오늘날 빠르게 변화하는 반도체 산업에 이상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다.