판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9312456
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA Wafer Testing and Metrology Equipment는 실리콘 기판에서 웨이퍼 수준 장치 구조를 정확하고 안정적이며 정밀하게 측정하도록 특별히 설계된 고급 반도체 도시 도량형 기기입니다. 특허를 획득한 고해상도 이미지 처리 시스템, 최첨단 이미지 처리, 데이터 처리, 분석 소프트웨어, 유연하고 직관적인 사용자 인터페이스 등을 갖추고 있습니다. 이 장치는 자동 도량형 및 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 를 제공하여 고정밀 웨이퍼 지형과 장치 매개변수를 빠르고 정확하게 확인할 수 있습니다. 이렇게 하면 필름 두께, 단계 높이, 선 너비, 오버레이 등과 같은 중요한 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 측정 및 웨이퍼, 자동 검사, 실리콘 웨이퍼 광학/전기 테스트 등의 정확한 정렬 및 등록이 특징입니다. KLA RS 55 TCA 기계는 단일 실행 내에서 최대 16 개의 전체 웨이퍼를 스캔하기 위해 고속 작동을 할 수 있습니다. 또한 에지 프로파일 감지 (Edge Profile Detection) 에서부터 자동화된 결함 검사 (Automated Defect Inspection) 에 이르기까지 다양한 옵션이 포함된 고급 이미징 및 분석 솔루션을 제공합니다. 이 도구는 또한 클리닝 및 치료와 같은 동시 샘플 사전 처리 프로세스를 실행할 수 있습니다. 이를 통해 빠르고 정확한 웨이퍼 테스트 (wafer test) 를 수행하므로 수동 작업 및 재작업이 필요 없습니다. 독점 이미지 처리 알고리즘은 탁월한 이미지 명암비 (image contrast) 와 선명한 이미지 (sharp image) 를 제공하여 웨이퍼 기능을 정확하게 측정합니다. 자산은 또한 쉽게 업그레이드할 수 있으며, 사용자는 시스템을 도량형 (metrology) 의 최신 기술로 업그레이드할 수 있는 유연성을 제공합니다. 모델에서 제공하는 고급 자동화 (Automation) 기능을 사용하면 디바이스 테스트와 관련된 비용과 시간을 줄일 수 있습니다. TENCOR RS-55/TCA Wafer Testing and Metrology Equipment는 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구에 적합한 비용 효율적인 솔루션입니다. 사용이 간편한 직관적인 사용자 인터페이스, 강력한 데이터 처리 기능, 정교한 자동화 프로세스 등을 갖추고 있습니다. 이는 반도체 구조의 고급 장치 분석에서부터 MEMS 장치의 고급 장애 분석 (advanced failure analysis) 에 이르기까지 광범위한 산업, 연구 도량형 및 재료 테스트 응용 프로그램에 이상적입니다.
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