판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9300181

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 웨이퍼의 집적 회로 및 박막 구조에 대한 통합 도량형 및 결함 검토를 제공합니다. KLA RS 55 TCA는 KLA 입증 된 도량형 및 결함 검토 기능과 특허를받은 TENCOR 웨이퍼 테스트 프로세스의 통합 결과입니다. 이 두 프로세스를 TENCOR RS-55/TCA에 통합하면 고품질 도량형과 빠르고 안정적인 결함 식별이 가능합니다. 이 시스템에는 레이저 자동 초점 장치가 장착 된 고정밀 광학 현미경, 자동 이미지 처리 하위 시스템 및 표면 및 지하 결함을 모두 식별 할 수있는 주사 전자 현미경 (SEM) 이 장착되어 있습니다. 이 기계는 실시간 결함 검사 및 검토 기능도 제공합니다. 광학은 구조를 0.1 미크론의 특징으로 상상 할 수 있습니다. RS-55TCA에는 다이 또는 테스트 칩 식별, 자동 초점 매개 변수 조정, 가장 낮은 명암비 및 임계 값 제어, 실시간 결함 크기 및 결함 영역 측정, 결함 크기 분포 분석, 히스토그램 분석, 다양한 유형의 패턴 인식, 자동 보고서 생성. 또한 자동/대화식 Wafer 검토 모드를 제공하여 Wafer 또는 Sub-Wafer 수준의 결함을 신속하게 보고 분석할 수 있습니다. 이 도구는 청소 (cleanroom) 환경에서 작동하도록 설계되었지만 온도, 습도, 압력 범위 (pressure range) 범위에서 작동 할 수도 있습니다. 이러한 적응력 (Adaptive Capability) 을 통해 자산은 광범위한 업계 애플리케이션에 이상적입니다. KLA RS-55TCA 모델의 주요 이점은 PROMETRIX로 잘 알려진 도량형 (metrology) 및 결함 검토 기능을 고정밀 광학 및 SEM 이미징 기술과 결합하여 웨이퍼의 결함을 신속하게 식별하고 분석하는 기능입니다. 따라서, 사용자는 더 빠르고 정확한 프로세스 제어 및 향상된 수율을 기대할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 출시 시간을 줄이고 고객 만족도를 높일 수 있습니다.