판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9299450

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 정확성과 안정성이 뛰어난 반도체 장치를 측정하고 분석하기 위해 설계된 고정밀 자동 도구입니다. KLA RS 55 TCA는 주요 반도체 제조업체가 생산 한 웨이퍼의 중요한 특성을 측정, 분석 할 수있는 다양한 기술을 제공합니다. TENCOR RS-55/TCA는 고해상도, 고해상도 웨이퍼 도량형을 제공합니다. 도량형 시스템은 광학 이미징 (optical imaging) 과 분광학 (spectroscopy) 을 저항성, 정전용량 및 매개변수 분석과 함께 사용하여 장치 특성의 정확한 측정을 얻습니다. 또한, 도량형 장치 (metrology unit) 는 하나의 도구 구성으로 여러 다이를 측정하는 기능을 가지고 있으며, 하나의 이미지에서 여러 다이 (die) 를 측정할 수 있습니다. KLA RS-55 TCA는 자동 웨이퍼 결함 검사도 제공합니다. 이 기계는 광학 이미징, 무선 주파수 검사, 적외선 이미징, 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 검사를 포함하여 결함 검사를 위해 4 가지 고유 한 기술을 사용합니다. 이 도구에는 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 에셋이 장착되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 표면에 보이는 결함을 식별하고 보고할 수 있습니다. KLA RS-55TCA에는 프로세스 제어를 위한 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 고유한 센서 플랫폼 (sensor platform) 과 강력한 계산 (computational) 기능을 통해 설정된 대상 값에 대해 실제 프로세스 매개변수를 효과적으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 설정된 대상 값 (set target value) 의 편차를 감지하고 표시하여 품질 문제를 방지하기 위해 실시간 수정 작업을 수행할 수 있습니다. TENCOR RS 55 TCA에는 데이터 저장, 검색 및 분석이 가능한 통합 DAQ (Data Acquisition Equipment) 도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 나중에 검색하고 검토할 수 있도록 데이터를 저장하며, 모든 장치 (unit) 가동 중단으로부터 수집된 모든 데이터를 보호합니다. 이 시스템의 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 데이터 분석을 단순화하고 프로세스 추세를 보다 쉽게 검토하고 문제 영역을 분리합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 TCA는 낮은 유지 관리 요구 사항으로 완벽한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 모듈식 (modular) 설계를 갖추고 있어, 한 부품을 교체해야 하는 경우, 독립적인 컴포넌트를 쉽게 교체할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 기민한 아키텍처 (agile architecture) 를 기반으로 구축되어 있어 디바이스 제조업체의 발전하는 요구를 충족할 수 있도록 신속하게 업데이트할 수 있습니다. 요약하면, PROMETRIX RS-55 TCA 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 분석 장비로, 현재 및 향후 반도체 요구를 위해 설계되었습니다. 고해상도 (high-resolution metrology), 자동 웨이퍼 결함 검사, 강력한 프로세스 제어 기능 등 다양한 고급 기능을 자랑합니다. RS-55/TCA는 효율적이고, 안정적이며, 유지 보수가 용이하며, 민첩한 아키텍처는 반도체 기술의 향후 혁신과의 호환성을 보장합니다.