판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9293260

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA는 반도체 생산 환경에서 고급 프로세스 제어를 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 자동 결함 감지 (automated defect detection) 및 분류 기능과 전체 3D 지형 매핑 및 저항성 분석을 결합합니다. KLA RS 55 TCA의 자동 이미징 광학 (Automated Imaging Optic) 은 뛰어난 감지 및 분류 기능을 보장하기 위해 고해상도로 넓은 시야를 제공합니다. 이 시스템은 특허를 획득한 혁신적인 자동 초점 (auto-focus) 기능으로, 이미지를 지속적으로 평가하고 이미징 렌즈를 수정하여 최대 선명도 (sharpness) 와 이미지 충실도 (image fidelity) 를 보장합니다. 또한 고정밀 지형 매핑을위한 동적 매핑 기술을 통합합니다. TENCOR RS-55/TCA는 탁월한 정확성과 신뢰성으로 나노 스케일 결함을 감지 할 수 있습니다. 특허받은 결함 분류 시스템은 확률 적 (probabilitic) 기술을 활용하여 복잡한 결함을 신속하게 감지하고 분류합니다. 이렇게 하면 심각한 결함만 보고됩니다. 또한 3D 광학 프로파일로메트리 (3D optical profilometry) 및 전기 측정 (electrical measurements) 을 포함한 고급 결함 분석을 통해 에치 깊이 (etch depth) 및 저항성 (resistivity) 과 같은 특성을 측정 할 수 있습니다. KLA RS-55TCA는 정교한 소프트웨어 아키텍처를 통해 추적 가능성과 재현성을 제공합니다. 즉, 다중 레시피와 완전 자동화된 이미징 및 도량형 프로세스를 통해 운영자가 다양한 디바이스를 신속하게 설치, 테스트할 수 있습니다. 결과적으로 처리량 증가, 결함 비율 감소 및 제조 수익률 향상이 발생합니다. RS-55TCA (Modular Design) 는 모듈식 설계이며 개방형 아키텍처로, 로봇 시스템뿐만 아니라 다른 생산 프로세스에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 견고한 모듈식 (modular) 구성과 뛰어난 기계식 (mechanical) 빌드 품질은 거친 산업 환경에서 성능을 보장합니다. 세계 최고 수준의 KLA (Application Specific) 소프트웨어와 결합된 RS-55 TCA는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 총 솔루션을 제공합니다.