판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9284327

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 빠르고 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고해상도, 자동 이미징 (automated imaging) 과 반자동 (semi-automated) 측정을 결합하여 반도체 웨이퍼에 대한 상세한 분석 및 평가 및 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. KLA RS 55 TCA에는 최대 8 인치 크기의 웨이퍼를 수용 할 수있는 오버 헤드 텔레센트릭 광학 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 현미경 및 거시적 기능을 포함하여 테스트 웨이퍼의 고정밀 이미징과 SEM (Scanning Electron Microscopy) 기능을 갖춘 3D 깊이 프로파일링을 지원합니다. 이 통합 이미징 머신은 0.5 미크론의 작은 이미지 해상도 편차를 제공합니다. 고해상도 이미징 도구를 사용하면 nanoscale 결함, 박막 두께, 중요한 매개변수 측정을 감지할 수 있습니다. 오버레이, 초점 및 반복 가능성, 분광 비교, 결함 감지, 패턴 일치 및 에치 깊이와 같은 자동 측정은 모두 TENCOR RS-55/TCA의 도량형 기능에 의해 활성화됩니다. 또한 KLA RS-55 TCA에는 검사 결과에 대한 자동 분석 및 보고를 위해 설계된 고급 소프트웨어가 제공됩니다. 이 소프트웨어는 자산 계측 (asset instrumentation), 측정 매개변수 (measuring parameter) 및 다양한 형식으로 보고서 생성을 제어할 수 있습니다. 예를 들어, 소프트웨어에는 SPC (Statistical Process Control) 및 문제 해결 도구와 사용자 정의 가능한 마스크 제한 데이터베이스가 장착되어 있습니다. 마지막으로, TENCOR RS-55 (TENCOR RS-55) TCA는 기후 조절 작업을 통해 완벽한 온도와 낮은 변동을 유지하여 여러 웨이퍼가 동시에 실행되는 경우에도 결과의 최고 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. PROMETRIX RS 55 TCA는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 최고 수준의 정확성과 반복성을 갖춘 정밀 이미징 및 측정 기능을 제공합니다. 이 제품은 고해상도 이미징과 빠른 처리 시간 (turnaround time) 이 필요한 반도체 제작 및 테스트 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.