판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9281547

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA는 고급 웨이퍼 및 칩 설계의 특성화를위한 포괄적 인 도량형 솔루션을 제공하기 위해 고안된 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 상태입니다. 내장형 시스템으로, 다양한 높이의 웨이퍼 (wafer) 설계에 대한 완벽한 분석 및 성능 평가를 제공하기 위해 여러 기능을 갖추고 있습니다. KLA RS 55 TCA는 결함 검사를 위해 고급 레이저 기반 기술을 사용합니다. 이 장치에 사용되는 레이저 기반 기술은 밝은 필드, 어두운 필드, 색상 도량형을위한 CDM (Compact Dual Mode) 이미징 머신과 더 작은 결함을 감지하기위한 CDM 인라인 오버레이 측정 (옵션) 입니다. 또한 광학 밝기 및 다크필드, 도량형 (metrology) 및 오버레이 (overlay) 와 같은 여러 자동 비 레이저 광학 설계 도구를 도구에 포함될 수 있습니다. 이중 뷰 광학 자산은 여러 웨이퍼 사이트에서 동시 결함 검사 및 오버레이 도량형 측정을 가능하게합니다. 이 모델의 최대 시야는 X-Y 축으로 최대 500mm, 작업 거리는 최대 4-5mm입니다. 기판 표면과 0.25 m 정도의 작은 결함을 구별하고 측정 할 수 있습니다. 장비의 다른 기능으로는 고속 라인 스캔 모드 (High-speed line scan Mode) 와 전용 신호 처리 알고리즘이있는 광범위한 Mura 측정 범위가 있습니다. 이 시스템은 고속 이미지 분석 프레임워크로 구동되며, 컴퓨터 로드를 줄여 더 빠른 이미지 프로세스 시간을 제공합니다. 이 제품은 고유하게 설계된 통합 웨이퍼 (wafer) 입력/출력 자동화 장치를 통해 지원되므로 처리량이 높습니다. TENCOR RS-55/TCA에는 하드웨어 기능 외에도 분석 및 모니터링 기능뿐만 아니라 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공하는 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 패키지가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 결함 맵, 추세 그래프, SPC (Defect Management/Statistical Process Control) 등 프로세스 사이클에 대한 포괄적인 보고서를 제공할 수 있습니다. 소프트웨어 기반 머신은 효율적인 데이터 수집을 통해 품질 파악, 우선 순위 지정, 비용 손실 감소 등의 효과를 제공합니다. PROMETRIX RS-55 TCA는 고급 웨이퍼 및 칩의 종합적인 테스트 및 도량형을 위한 포괄적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 신뢰할 수 있는 성능을 제공하며 완벽한 평가 주기를 위한 완벽한 분석 기능을 제공합니다.