판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9265521

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 웨이퍼 서피스를 분석하고 전기 특성을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. KLA RS55 는 단일 시스템에서 고급 광학, 저항, 정전식 도량형 (capacitive metrology) 기능을 제공하여 여러 테스트 시스템의 필요성을 완화합니다. 이 고성능 장치는 데이터 수집, 분석, 속도 등에서 매우 정확하고 효율적이며, 신뢰성 있는 데이터 품질을 제공합니다. 이 기계는 직경이 300mm 인 웨이퍼를 수용 할 수있는 4 축 전동 XYZ 단계로 설계되었습니다. 이를 통해 웨이퍼 지형 매핑 및 나노 미터 (sub-nanometer) 정밀도로 작은 거리 변화를 측정 할 수 있습니다. 또한 이미지 수집을 위해 샘플을 수동으로 회전시킬 필요가 없는 4 사분면 웨이퍼 척 (4 quadrant wafer chuck) 도 포함되어 있습니다. TENCOR RS 55에는 높은 정확도로 저항 및 정전용 매개변수를 측정하기 위해 교정 된 레이저 광학 산란 도구가 있습니다. 에셋에는 매우 작은 표면 프로파일 (surface profile) 과 거친 변형을 감지하기 위해 참조 빔 (reference beam) 역할을하는 광학 열 내부에 펄스 간섭계 (pulsed interferometer) 가 장착되어 있습니다. 이 측정 기능을 통해 모델은 집적 회로 (integrated circuit) 제작의 여러 프로세스 단계에 이상적입니다. PROMETRIX RS-55 소프트웨어는 프로그래밍이 용이하며 종합적인 분석 및 결과 계산을 제공합니다. 또한, RS55는 웨이퍼의 고해상도 이미지를 렌더링하고 반도체 프로세스를 평가하기 위해 통계적 분석을 수행 할 수 있습니다. 이 장비는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 추가 소프트웨어 도구와 통합 될 수도 있습니다. 전반적으로, KLA RS 55는 반도체 산업의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된, 고급적이고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 탁월한 정확성, 효율적인 데이터 수집, 신뢰할 수 있는 보고 기능, 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 풍부한 소프트웨어 등을 갖춘 고밀도 도량형 (High-Precision Metrology) 기능을 제공합니다. 이것은 모든 반도체 제조업체에게 완벽한 테스트 및 도량형 장치입니다.