판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9258171

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 반도체 제조업체를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 알고리즘이있는 AOI (Automated Optical Inspection) 를 사용하여 입자, 균열, 긁힘, 공백 및 작은 구덩이와 같은 웨이퍼 표면의 결함을 50 나노미터 아래로 해상도로 감지합니다. KLA 5x SEM 이미징 시스템과 통합되어 지형, 웨이퍼 곡률, 서피스 매핑, 오버레이 및 패턴 측정을 포함한 전체 웨이퍼 도량형 기능을 제공합니다. KLA RS55 는 강력한 하드웨어/소프트웨어 구성요소로 구축되어 있어, 강력한 운영 환경에서 안정성을 유지할 수 있습니다. 카메라와 현미경 장치는 최첨단 이미징 광학, 이미지 처리 (image processing) 알고리즘을 사용하여 다양한 결함 검사 응용프로그램을 가능하게 하는 고해상도 이미지를 수집합니다. TENCOR RS 55 는 Wafer 프로세스를 처음부터 끝까지 자동화하고 참여하는 지능형 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 플랫폼의 고급 알고리즘 (예: ScreenOverlay) 은 여러 웨이퍼 간의 웨이퍼 데이터를 동일한 영역에 정확하게 병합 및 매핑합니다. 또한 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 운영자는 웨이퍼 테스트와 도량형을 신속하게 설정하고 제어 할 수 있습니다. PROMETRIX RS-55 의 사용하기 쉽고 강력한 측정 기능을 통해 최고의 해상도로 빠르고 정확한 결함 감지 기능을 제공합니다. 또한 8 비트 및 32 비트 측정을 통해 작은 입자 및 기타 마이크로 레벨 결함을 감지 할 수 있습니다. 분석 기능을 통해 라인 모서리 (line edge) 와 라인 너비 (line width) 속성을 빠르고 정확하게 검사하여 리소그래피 프로세스를 특성화할 수 있습니다. 이 기계에는 검사 사이의 웨이퍼 클리닝 또는 먼지 (dirt) 또는 미세 (fine) 입자의 원격 클리닝을위한 LinkClean 비접촉 클리닝 도구가 포함되어 있습니다. KLA RS-55는 표면 오염 청소를위한 레이저 또는 화학/침수 전달 모델을 포함한 다양한 청소 전략을 지원합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55는 고성능 프로세스 제어 및 향상된 수율 관리를 위해 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 제공합니다. 고정밀 광학 이미징, 고급 알고리즘, 사용하기 쉬운 GUI, 종합 클리닝 옵션을 통해 반도체 제조업체에 이상적인 선택이 됩니다.