판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9157661

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 Wafer Testing 및 Metrology Equipment는 웨이퍼 특성화를위한 완전하게 자동화된 고 처리량 도량형 플랫폼입니다. 고급 광학 산란법 (Optical Scatterometry) 기술을 사용하여 필름 두께, 거칠기, 광학 상수와 같은 중요한 매개변수를 높은 정확도와 정밀도로 측정합니다. 이 시스템은 TSV (through-silicon via) 프로세스, MEMS 장치 및 3D 통합 기술에 이상적입니다. KLA RS55 장치는 가장 정교한 최첨단 광학 이미징 기술을 사용하여 정확도를 높입니다. 두 개의 광학 산란계를 사용하며, 둘 다 정확한 매개변수 결정을위한 널 방정식 (null equation) 방법을 사용합니다. 이 기계는 고유 한 산란 측량 영상 (scatterometry imaging) 원리에 따라 크기와 특성이 다른 웨이퍼에서 중요한 데이터를 추출합니다. 또한, 자동화된 광 정렬 알고리즘은 가장 어려운 웨이퍼 형상의 정확한 특성을 보장합니다. TENCOR RS 55에는 강력한 온보드 데이터 분석 제품군이 장착되어 있어 여러 프로세스 제어 (process control) 검사를 실행하고 웨이퍼 데이터를 실시간으로 분석할 수 있습니다. 이 툴은 또한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 기존 데이터 세트와 결과를 비교하여 현재 프로세스에 대한 이해도를 높입니다. GUI를 사용하여 사용자 정의 운영 프로파일을 만들고, 프로세스 제어를 강화하고, 보고서를 생성할 수 있습니다. KLA RS 55의 주요 장점은 표면 기능에 대한 견고성, 다중 매개변수 측정 능력, 높은 처리량입니다. 공구는 두께, 단계 높이, 광학 상수, 진단 등 10개 이상의 매개변수를 동시에 측정할 수 있습니다. 또한 KLA RS-55는 특수 APC (Automated Process Control) 소프트웨어와 함께 작동하여 성능 안정성과 반복 성을 보장하여 프로세스 수율을 극대화합니다. 결론적으로 RS 55 Wafer Testing and Metrology Asset은 웨이퍼 특성화 및 프로세스 모니터링을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델의 고급 광학 이미징 기술 (Optical Imaging Technology) 과 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control) 는 정확하고 반복 가능한 분석을 제공하여 웨이퍼 프로세스 전반에 걸쳐 최고 수준의 품질을 제공합니다.