판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9153013
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 넓은 영역 및 2 차원 웨이퍼를위한 평면 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 오늘날 대용량 제조 환경의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. KLA RS55는 고급 DIA (Direct Image Analysis) 및 레이저 현미경 기술을 사용하여 빠르고 정확하며 반복 가능한 테스트 결과를 제공합니다. TENCOR RS 55는 고급 이미징 및 분석 기능을 사용하여 다이 두께 (die thickness), 본드 강도 (bond strength) 및 균질성 (homogeneity) 과 같은 복잡한 웨이퍼에서 피쳐를 감지하고 측정합니다. 프로세스의 불일치, 사양 (specification) 및 기타 비표준 (non-standard) 기능을 파악하여 비용이 많이 드는 결함이 발생하기 전에 문제를 파악, 수정, 완화할 수 있습니다. 시스템의 고급 (advanced) 기능을 사용하면 샘플을 신속하게 측정하고 실시간으로 이미징할 수 있습니다. PROMETRIX RS 55는 또한 정확하고 지하 이미지 처리를 가능하게하는 첨단 광 장치를 갖추고 있습니다. 혁신적인 광원과 새로운 광학을 통해 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55는 0.5 미크론의 측면 해상도로 매장 된 구조와 특징을 매우 정확하게 이미지화할 수 있습니다. 기계는 또한 샘플 피쳐의 3D 측정을 수행하여 정확한 지형 측정을 수행 할 수 있습니다. RS 55는 최첨단 제어 및 자동화 시스템을 갖춘 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 자동 처리 도구 (automated handling tool) 를 사용하여 한 번에 많은 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 에셋은 또한 사용자 지정 기능이 뛰어나며, 각 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 프로그래밍할 수 있습니다 (영문). 여기에는 자동 메모리 주소 지정 (automated memory addressing), 데이터 아카이빙 (data archiving), 테스트 결과 및 로그 파일 저장 기능 등이 포함됩니다. 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로서, KLA RS 55는 가장 정확하고 반복 가능한 테스트 결과를 제공합니다. 현대의 산업생산 (industrial production) 의 요구를 충족시켜 가장 복잡하고 도전적인 웨이퍼를 다룰 때에도 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 결과적으로, 장비는 품질, 고성능, 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 생산에 귀중한 도구입니다.
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