판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9121410

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 프런트엔드 (front-end) 및 백엔드 (back-end) 구성 요소를 포함하여 다양한 반도체 장치를 정확하게 측정할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 광범위한 도량형 (metrology) 기능과 고급 테스트 및 측정 기술을 결합하여 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 장치에는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 여러 도구가 있습니다. 주요 구성 요소는 다음과 같습니다. -Wafer Turret: in-situ wafer 터렛은 즉석 웨이퍼 테스트를위한 자동 솔루션을 제공합니다. 150mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 8 개의 포트와 다른 테스트 요구에 대한 다양한 프로브 (Probe) 가 있습니다. -Etch Chamber: 고급 UV 에치 챔버는 에치 레이어의 정확한 테스트를 위해 설계되었습니다. 이 제품은 고해상도, 멀티 웨이퍼 이미징 머신 (Multi-Wafer Imaging Machine) 및 반복성 및 정확성을 위한 자동 정렬 도구를 갖추고 있습니다. -도시법 스테이션 (Metrology Station): 도량형 스테이션은 고급 측정 요구를 위해 광범위한 고급 도구를 제공합니다. 여기에는 최신 레이저 간섭계 및 음향 현미경과 함께 SEM (Scanning Electron Microscopy) 기능을 포함한 다양한 프로브가 포함됩니다. -Sorting Station: 정렬 스테이션은 테스트 결과를 기준으로 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 인라인 (inline) 및 자동화된 테스트 알고리즘의 조합을 사용하여 결함 웨이퍼를 식별하고 분리합니다. KLA RS55는 직관적인 사용자 친화적 인터페이스를 제공하여 신속하게 설치 및 사용할 수 있습니다. 확장성이 높아 다양한 연구/생산 (R&D) 애플리케이션에 적합합니다. 기존 운영 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 자산은 안전성과 신뢰성을 고려하여 설계되었습니다. 최적의 성능과 신뢰성을 보장하기 위해 여러 중복 시스템이 있습니다. 또한, 이 모델은 RoHS 규격을 준수하며, 가스 및 냉각 시스템은 안전 표준을 충족하거나 초과합니다. 이 장비는 고급 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 기능 외에도 소프트웨어 및 하드웨어 솔루션을 모두 제공합니다. 이를 통해 다른 테스트 기술 및 플랫폼과의 신속한 사용자 정의 및 호환성을 얻을 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR RS 55는 탁월한 정확성과 반복 성을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 리서치 애플리케이션 (Research Application) 과 프로덕션 애플리케이션 (Production Application) 모두에 이상적이며 다양한 요구 사항에 맞게 확장성이 뛰어납니다. 사용자 친화적인 인터페이스, 안전 기능, 고급 도량형 (Advanced Metrology) 툴을 통해 모든 반도체 테스트 환경에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.