판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293820679

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 웨이퍼 테스트, 분석 및 검사를 위한 자동 솔루션입니다. 반도체 웨이퍼의 물리적, 전기적 성능에 대한 고속, 정확성, 반복 가능한 분석을 가능하게 합니다. 이 시스템은 고급 이미징, 분석 및 제어를 결합하여 CD/Critical Dimension, OPC/Optical Probe Correction, Defect Review, CD Uniformity High Frequency Metrology, Total Soundness, (시각적, 칩 오프 및 Bump Feamination 및 Cross Feamination, 또한 고해상도 이미징 및 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 장치 분석을 지원하여 장치 성능 및 웨이퍼 (wafer) 제조 프로세스 최적화를 더욱 심층적으로 파악할 수 있습니다. KLA RS55 장치는 모듈식 로봇 기반 처리 도구, 듀얼 스테이지 광학 프로브, 이미징을위한 고해상도 카메라, 통합 컴퓨터 제어 네트워크 자산 (computer control network asset) 을 갖춘 개방형 구성 가능 기계 아키텍처를 기반으로 합니다. 공구 수명 및 정확도에 최적화되어 있으며, 여러 평면에서 정렬 최적화 (Alignment Optimization), 기계적 스캐닝 (Mechanical Scanning) 과 같은 고급 기능을 사용할 수 있는 많은 기능이 있습니다. 이미징 기능이 있으며 고급 광학 도량형 도구 (Optical Metrology Tools) 도 포함되어 있습니다. TENCOR RS 55의 검사 모델은 다양한 웨이퍼 크기, 복잡한 패턴 형상 및 고해상도 공간 위치를 적용 할 수 있습니다. 결과적으로 CD 구조, CD 균일 성 및 3D 지형의 초저용량 이미징을 지원합니다. 이 장비는 또한 CD 비 균일성을 감지하는 FBRM 장치와 CD 구조와 CD 균일성을 광학적으로 특성화하는 CD/OCD, OPC/OPC/OCD, FEOL/BEOL/FEOL Cross-Sectional Metrogy 메소드를 실행하는 FBRM M 을 지원합니다. 또한 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 시스템은 자동 웨이퍼 카세트 인터페이스, DGC 데이터 기반 통합, 사용자 친화적 웨이퍼 기반 장치 제어를 통해 처리량을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. TENCOR RS55는 기계 최적화 구동을위한 고급 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 중요한 성능 매개변수 (Performance Parameter) 와 PID 온도 및 압력 설정 지점 (Pressure Set Point) 을 모니터링 및 제어하여 프로세스 제어 최적화를 지원합니다. 더욱이, 이 도구는 정교한 자동화를 특징으로하며, 운영자는 최소한의 개입으로 자산을 밤새 실행할 수 있습니다. 결론적으로 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55는 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로 높은 정확성, 반복 가능성 및 신뢰성을 제공합니다. 이 제품은 이미징, 도량형 (metrology), 프로세스 제어 (process control) 를 위한 통합 기능을 제공하여 와퍼의 물리적, 전기적 특성에 대한 포괄적인 범위를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 정교한 자동화 및 개방형 구성 지원을 통해 반도체 웨이퍼 테스트 (wafer testing), 분석 (analysis), 검사 (inspection) 등 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다.