판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293778052

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 고급 장애 분석을 위해 설계된 전문가 등급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최대 3 개의 웨이퍼를 동시에 테스트하고 결함, 두께, 뒷면 청결 및 잠재적 오염, 평면 및 평평, 두께 균일성 및 표면 거칠기와 같은 매개변수에 대한 포괄적 인 데이터를 제공 할 수 있습니다. 이 시스템에는 2 개의 고출력 진공 스캐너가 장착되어 있습니다. 스윙 바 (swing-bar) 디자인을 채택하면 스테이지 기울기가 조정되고 다른 하나는 스탠드 오프 거리를 조정합니다. 이렇게 하면 대부분의 웨이퍼 영역 전체를 정확하게 스캔할 수 있습니다. KLA RS55에는 또한 고주파 포커스 컨트롤이 포함되어 있으며, 이는 측정 된 표면의 정밀 포커싱을 제공합니다. 또한 TENCOR RS 55에는 웨이퍼 포지셔닝 및 스캔을 용이하게하는 X-Y 스테이지 유닛이 있습니다. 이렇게 하면 "와퍼 '의 중앙 에 있는" 테스트' 장비 의 정확 한 정렬 을 허락 하면서 "스캐닝 '영역 을 신속 히 조정 할 수 있다. 또한 z- 모션을 제어하여 웨이퍼와 테스트 장비 사이에 이상적인 스탠드 오프 (standoff) 를 유지합니다. KLA RS 55는 또한 FPRA (Fourier Power Reflectometer Analysis), NGR (Non-Gaussian Reflectivity) 및 컨투어 프로파일링과 같은 광범위한 테스트 및 분석 작업을 지원합니다. 또한 0.2nm에서 1mm 크기의 결함을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 고급 이미지 처리를 통해 TENCOR RS-55는 크기, 모양, 위치 및 위상별로 결함을 정확하게 감지하고 분류 할 수 있습니다. RS 55에는 프로버 인터페이스 (Prober Interface) 가 장착되어 있어 웨이퍼 처리를 정확하게 제어하고 온도에 민감한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 또한 완전 자동 테스트 (Fully Automated Testing) 및 데이터 디스플레이 (Data Display) 기능을 통해 테스트 매개변수를 정의하고 처리량을 극대화하고 실시간으로 테스트 결과를 모니터링할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 갖춘 TENCOR RS55 (TENCOR RS55) 는 주어진 웨이퍼의 매개변수에 대한 정확하고, 안정적이며, 포괄적인 데이터를 제공합니다. 이를 통해 고급 장애 분석 및 프로세스 제어에 필수적인 툴이 됩니다.