판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293747952
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 웨이퍼 검사 및 도량형을 위해 설계된 정밀 도량형 장비입니다. 이 시스템은 2 축 단계, 고급 이미징 광학, 소프트웨어 제어 동작 제어, 다양한 센서 및 게이지를 결합하여 표면 토폴로지 및 결함 특성화의 완벽한 적용 범위와 특성을 제공합니다. 스테이지는 최대 375mm의 X-Y (X-Y) 이동이 가능하며, Z축 스캔 기능을 추가하면 웨이퍼를 3축으로 이동할 수 있습니다. 스테이지에는 저진동 옵션도 있습니다. 광학 이미징은 LCP (Laser Confocal Profilometry), VLR (Visible-Light Reflective) 이미징 및 SWLI (Scanning White Light Interferometry) 의 조합으로 제공됩니다. 모션 제어 플랫폼은 Siemens S7 PLC 플랫폼에서 실행되는 고성능 모션 컨트롤러로 구동됩니다. 이 모션 컨트롤러는 특정 응용 프로그램에 따라 열린 루프 (open-loop) 컨트롤과 닫힌 루프 (closed-loop) 컨트롤을 모두 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 내장형 광학 컨트롤 (optical control) 이 있어 전체 스캐닝 영역에서 스테이지 동작을 고정밀 제어할 수 있습니다. 모션 컨트롤은 정전 식 터치 센서, 레이저 스캐닝, 결함 분석을위한 X- 선 현미경 등 다양한 센서와 통합됩니다. 이 기계는 KLA 분석 및 도량형 소프트웨어로 구동되며, 전체 웨이퍼 표면에 대한 전체 장치 특성, 결함 분석, 이미지 분석 등의 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어에는 포괄적인 통계 방법과 알고리즘이 포함되어 있으며, 프로세스 최적화 및 결함 분석에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. KLA RS55는 다용도, 고도로 통합되고 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 고급 이미징 옵틱 (optic), 모션 컨트롤 (motion control) 및 소프트웨어 제어 (software-control) 의 조합은 표면 토폴로지와 결함 특성화의 완벽한 적용 범위와 특성을 제공하여 사용자에게 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.
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