판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293717299
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 반도체 제조 중 최고 수준의 성능과 정확성을 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 듀얼 빔 옵티컬 시스템, 브라이트필드 및 다크필드 이미징, 선명한 옵티컬 해상도를 갖추고 있습니다. 이 장치는 다양한 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 안정적이고, 정확하고, 효율적인 테스트 및 도량형을 보장하도록 설계되었습니다. KLA RS55는 웨이퍼의 정확한 측정, 분석 및 검사를 위해 브라이트 필드 및 다크 필드 이미징 머신을 사용합니다. 자가 정렬 된 이중 빔 광학 자산 인 브라이트 필드 도구 (brightfield tool) 는 더 세밀한 피쳐의 정확한 측정에 사용되며, 다크 필드 모델은 5 미크론 이상의 피쳐를 정확하게 묘사합니다. 이 듀얼 빔 장비를 사용하면 브라이트필드 (brightfield) 시스템에서 볼 수 없는 기능을 정확하게 감지 및 이미징할 수 있습니다. TENCOR RS 55는 레이저 간섭법 (두 컴포넌트의 진동 차이를 감지하여 거리의 작은 변화를 측정하는 기술) 을 사용하여 검사 및 도량형 작업 중 웨이퍼의 움직임 또는 흔들림을 감지합니다. 뿐 만 아니라, 이 "시스템 '은 0.75" 미크론' 의 뛰어난 광학 해상도 를 제공 해 주며, 이것 은 조금씩 변하는 특징 크기 까지도 정확 하게 탐지 할 수 있게 해 준다. 또한 KLA RS 55 에는 포괄적인 소프트웨어 솔루션이 포함되어 있어 Report 를 생성하고, Trend Analysis 를 수행하고, 테스트 결과를 문서화할 수 있습니다. 이미지 정렬 기능 (image alignment feature) 은 광 장치 내에서 웨이퍼 위치 및 정렬의 모든 드리프트를 자동으로 보완합니다. 또한 업계 최고의 샘플링 속도 (초당 최대 20 웨이퍼) 를 제공하여 빠르고 안정적인 데이터 수집을 지원합니다. RS 55의 다른 기능으로는 검증된 이미지 라이브러리 (image library) 와 고급 입자 판별 소프트웨어 (advanced particle discrimination software) 가 있으며, 서로 다른 입자 유형을 구분하고 효율적인 정렬 및 분석을 허용합니다. 또한, 이 기계는 다양한 웨이퍼 (wafer) 제조 프로세스와 호환되어 사용자 정의 및 최적화를 강화합니다. 요약하면, KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55는 웨이퍼 테스트 및 도량형에 효과적이고 효율적인 솔루션입니다. PROMETRIX RS-55는 듀얼 빔 광학 도구, 선명한 광학 해상도, 레이저 간섭 기술, 완벽한 소프트웨어 솔루션 제품군을 통해 높은 정확성과 정확성을 제공하며, 제조 품질과 효율성을 향상시킵니다.
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