판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293656290

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 반도체 제조 분야를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 포토 마스크 (photomask), 웨이퍼 다이킹 프레임 (wafer dicing frame) 및 기타 포장 재료를 포함하여 다양한 웨이퍼 기판에서 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. KLA RS55 의 독보적인 기능은 비용을 절감하고, 처리량을 향상시키고, 생산량을 늘려야 하는 고객에게 이상적입니다. TENCOR RS 55는 웨이퍼 스테이징 및 핸들링의 정확성과 안정성을 보장하도록 특별히 설계되었습니다. 시력 조절 표면 전략 알고리즘 (vision-controlled surface-strategy algorithm) 과 고속 진공 제어 로딩 스테이션 (high-speed vacuum-controlled loading station) 이 특징입니다. 기판 크기 감지 (Substrate size detection) 및 프로브의 자동 정렬 (automated alignment) 을 통해 다양한 재료에 대한 고해상도 측정이 가능합니다. 또한 RS-55 의 다중 영역 (multi-zone) 기능을 통해 여러 테스트가 동시에 수행되므로 시스템의 전체 처리량이 증가합니다. 도량형 측면에서 RS55에는 통합 디지털 패턴 인식 (Digital Pattern Recognition) 이 장착되어 있어 패턴 및 중요 테스트 매개변수의 임계 크기를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 자동, 스테인 프리, 단면 SEM 및 컨투어 이미징을 제공하여 웨이퍼의 3D 형태 특성을 시각화합니다. 또한, 고급 결함 검토 (Advanced Defect Review) 는 매우 빠른 속도로 결함을 감지하고 진단하는 다양한 기능을 제공합니다. 또한, RS 55 는 복잡한 테스트 작업을 처리할 때 시간과 노력을 절감하면서 애플리케이션 간에 손쉽게 이동할 수 있는 통합 유닛 인터페이스 (Integrated Unit Interface) 를 제공합니다. 반복 가능한 프로세스 조건을 보장하기 위해 최대 4,000 개의 도량형 레시피 (metrology recipe) 를 재사용 및 수정할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 는 고급 데이터 관리 기능을 갖추고 있어 Wafer Test Report 를 유지 보수 및 분석하여 운영 기록을 손쉽게 보고, 관리할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR RS-55는 반도체 제조 응용 프로그램의 비용 절감, 생산량 최적화, 처리량 향상을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 인텔리전트 (Intelligent) 기능과 고급 (Advanced) 기능을 결합하여 현재 가장 다양하고 강력한 시스템 중 하나로, 품질 크리티컬 운영을 위한 완벽한 툴입니다.