판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293655095
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ID: 293655095
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Resistivity mapping system, 8"
Non-functional
Open cassette
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 다양한 응용 프로그램에 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 기판, 집적회로, 고급 포토 마스크 (photomask) 와 같은 다양한 유형의 샘플을 빠르게 분석 할 수 있습니다. 또한 서피스 지형을 포함하여 샘플의 다양한 특성을 측정 할 수 있습니다. KLA RS55 는 프런트엔드 서브시스템과 메인프레임의 두 가지 구성요소로 구성되어 있습니다. 메인프레임에는 샘플 측정을 제어하고 모니터링하는 모든 구성 요소가 들어 있습니다. 프런트엔드 서브시스템에는 센서 헤드 (sensor head) 와 샘플의 다른 매개변수를 측정하는 여러 개의 검출기가 있습니다. 검출기는 매우 민감하여, 가장 작은 피쳐를 측정 할 수 있습니다. TENCOR RS 55에는 다양한 기능이 제공되어 다재다능합니다. 고속 스캔 (High-Speed Scanning) 및 다중 채널 분석 (Multi-Channel Analysis) 기능을 통해 샘플의 여러 측면을 신속하게 파악하고 분석할 수 있습니다. 또 자동화된 측정 (automated measurement) 을 통해 샘플을 수동으로 검사하는 데 필요한 시간과 노력을 줄일 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 많은 시간과 노력을 절감할 수 있습니다. 또한, 많은 데이터 분석 도구 (data analysis tools) 가 제공되며, 이 툴을 사용하여 샘플에서 수집한 데이터를 분석하여 결과를 얻을 수 있습니다. PROMETRIX RS55에는 Easysite라는 업계 최고의 소프트웨어 패키지도 있습니다. 이지사이트 (Easysite) 를 사용하면 시스템을 특정 요구에 맞게 구성할 수 있고, 단위를 사용자 정의하여 해당 워크플로에 맞게 구성할 수 있습니다. 또한, Easysite 는 쉽게 이해할 수 있는 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 전반적으로, KLA RS 55는 사용자에게 다양한 기능을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 고속 스캔 (High-Speed Scanning) 및 다중 채널 분석 (Multi-Channel Analysis) 기능을 통해 샘플의 다양한 속성을 신속하게 분석 및 측정할 수 있으며 데이터 분석 결과를 자동으로 생성할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 Easysite 소프트웨어를 사용하여 필요에 따라 도구를 사용자 정의할 수 있습니다.
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