판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293628451

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 293628451
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 고화질 이미징 및 분석 기능을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 고해상도 이미징 (high resolution imaging), 결함 감지 (defect detection) 및 측정을 위해 웨이퍼 표면의 전기적 특성을 측정하여 작동합니다. 장치의 7 미크론 레이저 빔은 다양한 검사 기술을 사용하여 광학/전기 측정, 미세 구조 이미징 및 3D 프로파일 도량형을 포함한 샘플의 특성을 분석합니다. KLA RS55는 자동 웨이퍼 테스트 및 검사 프로세스를 제공하며, 전면 및 후면 측정을 모두 지원합니다. "웨이퍼 '" 샘플' 들 이 기계 에 적재 되어 진공 "척 '을 가지고 있다. 그런 다음 샘플은 표면 특징과 전기 특성을 측정하는 7 미크론 레이저 빔에 노출됩니다. "레이저 '주사 단계 는 통과 사이 의" 샘플' 을 움직 여 "샘플 '이 철저 히 스캔 되도록 한다. 모든 측정은 나중에 액세스하거나 추가 분석에서 사용될 데이터베이스 (database) 에 저장됩니다. TENCOR RS 55는 독점적인 듀얼 헤드 구성을 사용하여 빠르고 안정적인 분석 결과를 제공합니다. 이 도구는 샘플의 높이, 너비 및 기타 치수를 정확하게 측정할 수 있는 빠른 3D 스캐닝을 제공합니다. 이를 통해 더 정확한 결함 감지 및 개선 된 프로세스 제어가 가능합니다. 에셋은 또한 고급 광학 (advanced optics) 을 특징으로하여 샘플을 보다 상세한 이미징 및 분석할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고해상도 광학 (optic) 과 신호 처리 (signal processing) 기술을 사용하여 결함을 식별하는 고급 결함 이미징 및 분석 제품군을 포함합니다. 소프트웨어 제품군에는 자동화된 결함 로컬라이제이션, 조감도 분석, 단면 이미징, 이미지 빼기 등의 도구가 포함됩니다. KLA RS-55는 고급 에지 감지 (Advanced Edge Detection) 및 이미지 분할 (Image Segmentation) 알고리즘을 사용하여 보다 빠르고 효율적인 결함 감지 및 분석을 지원합니다. 이 장비에는 신뢰성 있고, 사용자 친화적인 워크플로우 (workflow) 가 있어 정확성을 저하시키지 않고 빠른 테스트와 도량형을 가능하게 합니다. 마지막으로, 시스템은 온보드 데이터 분석 기능을 제공합니다. 이를 통해 데이터 분석에 소요되는 시간과 노력을 줄이고, 데이터를 정확하게 검색할 수 있습니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 KLA RS 55는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 이상적인 솔루션이 됩니다.
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