판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293607040
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ID: 293607040
웨이퍼 크기: 6"
Resistivity mapping system, 6"
Resistivity probe: Sensing signal transmission and control system
Wafer diameter, 4"-8"
Measurement range: 5 m Ohm/sq to 5 M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% (Standard silicon wafer, 23°C)
Measurement repeatability: <0.2%
Measurement time: ≤ 60 Seconds (49-Point test, manual loading, single wafer, temperature compensation)
Controller:
Computer
SECS Communication interface
Inspection table stage:
X-Y Direction: >200 mm
Z Axis control
Servo motor drive
Transmission / Transfer:
Fully automatic cassette to cassette
Robot
Alignment.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55는 고급 패키징, MEMS 및 기타 고성능, 복잡한 구조에 맞게 구성된 완전 자동화 된 반도체 웨이퍼 테스트, 측정 및 도량형 플랫폼입니다. KLA RS55 는 매우 다양한 테스트/측정 애플리케이션에서 업계 최고의 정확성, 반복성, 가용성을 제공합니다 (영문). 빠르고 정확한 TENCOR RS 55는 라인 너비, 컨덕터 크기, TSV (through-silicon vias) 등 다양한 기능을 측정 할 수 있습니다. 또한 플랫폼은 칩 스케일 패키지 (CSP), WLCSP (wafer level chip scale package) 및 플립 칩, 다양한 IC 및 PCB 등 다양한 패키지를 측정 할 수 있습니다. TENCOR RS55는 반사, 밝기 및 어두운 필드와 같은 다양한 이미징 옵션을 제공하여 3D 도량형 이미징을 허용합니다. 또한 고급 사용자 인터페이스 (user interface) 와 직관적인 측정 소프트웨어 (measurement software) 를 통해 데이터 수집, 분석 및 보고 작업을 간소화하고 속도를 높일 수 있습니다. 향상된 정확성을 위해 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55는 다이 레벨 분석을위한 IDIC (Integrated Digital Image Correlation) 시스템은 물론 저조도 성능과 화질을 향상시키는 독점 Coldfield ™ 및 Brightfield ™ 이미징 시스템도 갖추고 있습니다. 또한, TENCOR RS-55는 고성능 정적 도량형 애플리케이션을 위해 확장 된 깊이 필드 모듈을 통합합니다. 고급 도량형 응용 프로그램의 경우, KLA RS 55에는 자동 정렬 및 안정성을 갖춘 통합 간섭계 시스템이 포함되어 있습니다. 강력한 PROFINET/NET 시스템 및 API를 통해 RS55는 다양한 외부 장치에 연결할 수 있으며, 복잡한 측정은 현장 내에서 수행 할 수 있습니다. 이 플랫폼은 4 개의 통합 이중 축 단계를 통해 자동화된 컴포넌트 배치, 요소 정렬, 웨이퍼 매핑을 지원합니다. RS-55 는 6 개의 서로 다른 시스템을 갖추고 있으며, 각각 최고 수준의 품질 (Quality) 과 정밀도 (Precision) 를 충족하도록 설계되었으며 다양한 해상도와 속도 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 는 다양한 프로세스 단계에 적합한 제품으로, 생산량 손실을 최소화하면서 처리량 및 확장성을 극대화할 수 있습니다.
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