판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9238630

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC는 고성능 프로덕션 테스트 및 인라인 측정 어플리케이션을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 경제적인 패키지로 고급 진단 (diagnostic) 기능을 제공하여 제조업체가 생산량 증대, 결함 제어 향상 등을 활용할 수 있도록 합니다. KLA RS-55TC 장치의 광학 도량형 헤드 (optical metrology head) 는 웨이퍼 표면 및 기판에서 발견되는 테스트 구조의 표면 및 박막 측정을 제공합니다. 상단 및 단면 Fourier Transform Infrared (FTIR) 분광법, 4 점 프로브, 간섭계, 다크 필드 이미징, 스타일러스 및 프로브 기반 기술, 고급 단일 입자 광 셀 측정 등 다양한 측정 기술을 지원합니다. 편광 광현미경 (PLM), 집중된 이온 빔 스캔 전자 현미경 (FIB-SEM) 및 원자력 현미경 (AFM) 을 포함한 비 접촉 분광학 솔루션도 선택할 수 있습니다. 이러한 기술을 사용하면 표면 거칠기, 결정 방향, 곡물 크기, 구성 및 열 안정성 등 다양한 재료 특성을 자세히 검사할 수 있습니다. "머신 '은 고도 의 자동화 를 거쳐, 한 발 에 많은" 웨이퍼' 를 신속 하고 정확 하게 측정 할 수 있게 해 준다. 이 도구에는 여러 가지 도량형 모듈 (metrology module) 이 장착되어 있으며, 이를 통해 동시 측정을 수행할 수 있으며, 정확성을 저하시키지 않고 전체 테스트 시간이 크게 단축됩니다. 또한 TENCOR RS55/TC 에셋에는 강력한 포스트 프로세싱 기능이 있으며, 이를 통해 사용자는 들어오는 데이터를 신속하게 분석하고 상세한 분석 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다른 시스템과 원활하게 상호 작용하여 여러 테스트 소스 (test source) 의 테스트 결과를 쉽게 통합하도록 설계되었습니다. 또한, 특정 자동 테스트 계획을 수행하고 테스트 절차의 원격 스케줄링을 허용하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. KLA RS55/TC는 대부분의 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구 사항을 경제적으로 충족하기 위한 최적의 선택입니다. 탁월한 성능, 폭넓은 기능, 자동화된 기능을 갖춘 이 제품은 대용량 운영 테스트 (production test) 및 검사에 적합합니다. 생산량을 극대화하고 다운타임을 줄일 수 있는 고급 (Advanced )/안정적인 플랫폼을 찾고 있는 제조업체에게는 탁월한 선택입니다.