판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9077700

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC는 반도체 산업을위한 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 장치 수준의 반도체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사하고 측정하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 다이 크기, 다이 피치, 활성 영역, 결함 밀도, 장치 프로파일, 라인 너비, 피쳐 크기 균일성 등 다양한 웨이퍼 속성을 분석할 수 있습니다. KLA RS-55TC 장치는 정밀 로봇 스테이지 및 고속 측정을 허용하는 고급 센서를 갖추고 있습니다. 1,500 wpm 이상의 처리량 수준에서 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 웨이퍼 맵퍼 (wafer mapper) 와 CCD TV 카메라, 정전용 프로브, 스캐닝 전자 현미경 및 간섭계 (interferometer) 를 포함한 다양한 측정 또는 검사 도구가 장착되어 있습니다. TENCOR RS55/TC 도구는 다이 레벨 측정, 다이 투 다이 측정 또는 다이 투 맵 비교 등 다양한 도량형 관련 기능을 제공합니다. 결함 감지 및 분류; 장치 프로파일 링; 횡단면 분석; 3D 이미지 분석; 이미지 기반 장애 분석 또한 프로세스 모니터링, 실시간 결함 감지 (Real-Time Defect Detection), 수율 검진 (Yield Screening) 등 다양한 인라인 프로세스 제어 기능을 수행할 수 있습니다. PROMETRIX RS-55/TC는 최첨단 컨트롤러를 자랑하여 성능과 정확도를 크게 향상시킵니다. 컨트롤러는 매우 정확하며, 쉽게 자산 기능을 확장할 수 있는 모듈식 (modular) 설계를 갖추고 있습니다. 또한 정교한 데이터 수집 (Data Collection) 및 스토리지 모델이 장착되어 있어 종합적인 검토, 데이터 마이닝 및 보고 기능을 제공합니다. PROMETRIX RS 55/TC는 강력하고, 다양하며, 신뢰할 수 있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션으로, 자동화된 테스트 기술과 정밀 측정 도구를 모두 제공합니다. 안정적이고, 반복적이고, 일관성 있는 테스트와 결과를 보장하며, 고품질 반도체 장치의 생산을 보장합니다.