판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9013475
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ID: 9013475
웨이퍼 크기: 4"-8"
Resistivity mapping system, 4"-8"
Vacuum: 500 mmHg
Pressure: 40-60 psig (3.3bar)
System computer: 486 / 33 MHz
Fixed hard drive: 110 MB
Removable disk: 44 MB
3.5" diskette drive: 1.44 MB
1994-2000 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC는 고급 반도체 포장 작업을 위해 설계된 고정밀 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 개별 및 다중 다이 웨이퍼 (die wafer) 모두에 대한 수동 및 반자동 스캐닝 (semi-automated scanning) 전략과 장치 내의 특정 기능을 검사하는 자동화된 도량형 (metrology) 기능을 포함한 최신 자동 테스트 기능을 제공합니다. 이 장치는 긴 여행 X, Y 및 Z 스테이지와 테스트 정확도와 속도를 향상시키기 위해 설계된 고급 스캐닝 (scanning) 알고리즘을 갖추고 있습니다. KLA RS-55TC는 수율, 결함 및 기타 장치 특성을 포함하여 다양한 다이/웨이퍼 (die/wafer) 속성을 측정 및 테스트할 수 있습니다. 또한, 기계는 반사율, 필름 두께, 웨이퍼 평판 측정과 같은 2 차 작업을 수행 할 수 있습니다. TENCOR RS55/TC 툴은 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 운영 및 유지 관리를 간단하고 간단하게 수행할 수 있습니다. 자산은 또한 GDSII (GDSII) 와 테이프 형식 사이를 변환하여 다이 테스트 (Die Testing) 및 도량형을위한 유연하고 비용 효율적인 플랫폼을 만들 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 보정 (calibration) 옵션이 있어 광범위한 측정값의 정확성을 보장합니다. 전반적으로 RS 55/TC는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업을위한 이상적인 장비입니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 에 대한 정확하고 상세한 측정이 가능하며, 장치 제조업체는 프로세스 제어를 개선하고, 고품질 제품을 만들 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 유연한 교정 옵션을 통해 작동 및 유지 관리가 간단합니다.
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