판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50e #9022721

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 프런트엔드 반도체 프로세스 제어 및 주요 디바이스 성능 최적화를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 평면 및 비 평면 서피스 (예: 범프 및 트렌치) 모두에 대한 3 차원 웨이퍼 레벨 매핑 및 측정 기능을 제공합니다. KLA RS-50e 장치는 중요한 기능 크기 측정, 오버레이 등록, 에지 감지, 미세 선 등 다양한 도량형 기능을 제공합니다. 또한 디바이스 수율 통계를 측정할 수 있으며, 디바이스/프로세스 분석 기능도 제공할 수 있습니다. 기계는 또한 결함이있는 다이 분석을 수행 할 수 있습니다. TENCOR RS-50e 도구는 장거리 현미경으로, 고해상도 이미지를 제공하면서 비 평면 표면을 측정하는 데 적합합니다. 이 자산에는 독점적 인 I3 (Illumination and Image Intensification) 기술이 탑재되어 있어 작은 기능을 측정 할 때 대비를 강화할 수 있습니다. 이 모델은 깊은 참호와 깊은 v 그루브를 측정 할 수 있습니다. 장비는 최대 8 미크론 깊이를 스캔 할 수 있습니다. PROMETRIX RS-50e에는 모든 자동 웨이퍼 검사 도구 및 스티칭 및 레이블 지정 도구 (stitching and labeling tools) 와 같은 수동 작업이 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 wafer 분석 작업을 수행할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 검사 도구에는 결함 분류, 패턴 인식, 샘플 식별 및 모서리 탐지가 포함됩니다. 또한 RS-50e 에는 실시간 통계 분석, 가상 도량형, 데이터 세트 구성 및 시각화, 자동 테스트 루틴 설계, 자동 스캔 스케줄링 등의 고급 시스템 기능이 있습니다. 또한이 장치에는 고급 도량형 및 웨이퍼 검증 도구를 Yieldstar 소프트웨어와 결합한 YAP (Yield Accelerator Package) 가 장착되어 있어 빠르고 정확한 장치 특성화가 가능합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 자동 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 부터 고급 데이터 분석 (Data Analysis) 기능에 이르기까지 다양한 기능을 제공하여 디바이스 성능과 프로세스 제어를 모두 모니터링하고 최적화할 수 있습니다. 다재다능하고 신뢰할 수 있는 툴로서, 중요한 기능 크기, 오버레이 (overlay) 등록 및 미세 라인 (fine line) 을 포괄적으로 측정할 수 있습니다. 고급 툴과 기능의 전체 제품군을 사용하면 디바이스 생산량 및 성능을 최대화할 수 있습니다.