판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50 #9298896

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50은 제품 개발, 프로세스 모니터링, 장애 분석 및 수율 개선을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 지형적 특징과 전기적 특성을 빠른 속도, 정밀도로 측정합니다. 이 장치는 자동 광학 및 전기 도량형 기능을 단일 플랫폼으로 결합합니다. 광학 도량형 기능은 자동화된 3D Non-Contacting Interferometric microscopy (3D NCI) 를 사용하여 결함이 없고 파괴적이지 않은 표면 지형 측정을 수행합니다. 이 기계의 비파괴 전기 도량형 기능에는 전기장, 저항력, 정전용 및 전류 누출의 고속 측정이 포함됩니다. KLA RS-50은 실리콘-온-인슐레이터 (SOI), 변형된 실리콘, MEMS 및 고 K 유전체를 포함한 다양한 반도체 및 유전체 기술을 측정하도록 최적화되었습니다. 이 도구는 장치를 150mm ~ 700mm 웨이퍼 (wafer) 로 측정하며, 기판을 배치하는 테이블을 특징으로하여 반복 가능한 설정과 향상된 정확도를 제공합니다. TENCOR RS-50에는 최첨단 이미지 획득 자산이 포함되어 있으며, 이 자산은 빠른 스캐닝 및 자동 웨이퍼 맵 스티칭을 제공합니다. 1 ~ 2 분 안에 전체 웨이퍼 이미지를 얻을 수 있으며, 최대 0.75m 의 해상도로 마스크 리스 (maskless) 및 자동 결함 검토 (automated defect review) 기능을 제공합니다. 이 모델의 3D NCI 기술은 격리 트렌치, 접촉 개구부, 폴리 실리콘 트렌치와 같은 고가용성 기능의 고해상도 매핑을 제공합니다. RS-50 은 프로세스 제어를 위한 도량형 피드백을 제공하며, 프로세스 엔지니어가 현재 프로세스를 개선하거나, 새로운 프로세스 레시피를 최적화할 수 있습니다. 또한 이 장비의 유연한 아키텍처 (Flexible Architecture) 를 통해 변화하는 기술과 애플리케이션에 쉽게 적응할 수 있습니다. PROMETRIX RS-50은 EBBED 시트 저항 측정, 변조 분광법 및 4 포인트 시트 저항 측정과 같은 고급 기술을 사용하여 포괄적인 전기 도량형 기능을 제공합니다. 접촉 저항, MOS 커패시터 및 기타 전기 매개변수를 측정 할 수 있으며, 작은 기하학을 0.5m까지 측정 할 수 있습니다. 전체적으로 KLA의 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50은 제품 개발, 프로세스 모니터링, 장애 분석 및 수율 개선을 위한 빠르고 안정적인 측정 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치의 자동화된 광학 및 전기 도량형 (optical and electrical metrology) 기능을 통해 사용자는 표면 지형을 시각화하고, 전기 특성을 분석하며, 디바이스 성능 및 품질을 향상시킬 수 있습니다.