판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9354234

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9354234
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C는 중요한 반도체 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 매우 정확 한 "시스템 '을 통해" 웨이퍼' 를 검사 하고 분석 할 수 있는데, 이것 은 집적 회로 제조 에 있어서 기판 으로 사용 되는 "반도체 '재료 의 얇은" 디스크' 이다. KLA RS-35C는 여러 가지 주요 기능을 자랑하며, 가장 높은 수준의 웨이퍼 매핑을 제공하여 크기가 30nm까지 작은 패턴을 인식합니다. 또한, 이 장치는 이미지 기반 분류를 통합하여 뛰어난 결함 감지 기능을 제공합니다. TENCOR RS 35C의 높은 정밀도는 도량형, 결함 검토, 웨이퍼 정렬, 결함 격리 및 실패 분석과 같은 많은 응용 프로그램에 매우 유용합니다. 이 기계의 이미징 (Imaging) 기능을 통해 사용자는 개별 웨이퍼 (Wafer) 기능을 정확하게 매핑할 수 있으며, 이 기능을 측정하여 웨이퍼에 대한 자세한 검사 및 분석을 수행할 수 있습니다. 이렇게 하면 운영 실행에 커밋하기 전에 동작, 결함, 오염을 파악할 수 있습니다. TENCOR RS-35C는 높이, CD/너비/공간 및 모서리 매개변수의 조합과 함께 웨이퍼 서피스 지형을 포함한 다양한 기능을 측정합니다. 이 도구는 또한 평균, 피크 높이, 피크 투 밸리 거리, 영역 분석 등 거칠음을 측정하는 기능을 제공합니다. RS 35C (Automated Wafer Handling Asset) 는 자동화된 웨이퍼 처리 자산을 사용하여 전체 프로세스를 성공적으로 처리할 수 있습니다. 이후 측정을 위해 웨이퍼 전용 (Wafer-Specific) 정보가 수집되며, 이를 통해 모델이 들어오는 웨이퍼를 신속하게 식별하고 검사할 수 있습니다. 효율성 향상을 위해 여러 웨이퍼 (Wafer) 및 프로세스 단계를 위해 장비를 구성할 수 있습니다. 이 시스템은 강력한 오픈 플랫폼 (open platform for data collection and analysis) 으로 구동됩니다. 데이터는 여러 엔지니어링 측정 시스템을 사용하여 수집되어 실시간 데이터를 제공합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35C는 또한 다양한 SWIR (단파 적외선) 이미징 장치를 사용하여 웨이퍼 표면에 대한 빠른 결함 분석을 허용합니다. 따라서 PROMETRIX RS 35C는 강력하고 복잡한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 여러 측정 시스템, 강력한 개방형 플랫폼, 자동화된 웨이퍼 처리 툴을 갖춘 RS-35C는 탁월한 웨이퍼 매핑 기능, 결함 감지, 도량형을 제공합니다. 클라 RS 35C (KLA RS 35C) 의 능력은 웨이퍼 제조 (Wafer Manufacturing) 에 매우 귀중한 도구이며, 웨이퍼 (Wafer) 기능에 대한 정확성과 결함 분석을 통해 생산량이 가장 높고 비용이 절감됩니다.
아직 리뷰가 없습니다