판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9298820

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 다양한 반도체 웨이퍼 표본의 정확하고, 반복 가능하며, 정확한 특성과 분석을 제공하는 자동 장치입니다. wafer testing, metrology 및 uniformity 측정의 세 가지 기능이 있으며, 모두 단일 플랫폼에서 수행됩니다. KLA RS-35C 웨이퍼 테스트에는 DC, 펄스, 응답 시간, 어두운 전류 및 표면 노이즈와 같은 표본의 전기 특성을 모니터링하는 것이 포함됩니다. 이것은 시스템의 특수 프로브 카드 (special probe card) 와 테스트를 위한 전원 및 신호 조건을 제공하는 자동 조정 8 (Autostation 8) 의 보조 회로를 사용하여 수행됩니다. Probe 카드는 30 kHz ~ 20 MHz 범위의 테스트 주파수를 수행할 수 있으며, 해상도는 최대 1 N입니다. TENCOR RS 35C 도량형 장치는 표본의 구조적 무결성 및 결함 수준을 측정합니다. SEM (Scanning Electron Microscope) 은 자동 기능 인식 및 분석 기능을 통해 고해상도 및 확대 시 이미지 획득을 허용합니다. 이 기계에는 가변 압력 SEM (Variable Pressure SEM) 이 장착되어 있으며, 경량 및 중량 예금 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 또한 기울기, 프로파일, 그루브 깊이 등 다양한 ectopattern 측정을 수행 할 수 있습니다. 마지막으로, KLA RS 35C 균일 측정 도구를 사용하면 장치의 특정 영역 내에서 표본 장치 매개 변수를 신속하게 측정 할 수 있습니다. 이것은 접합 누출, 접합 고장, 임계 전압, 루프 전류 등의 기능을 분리 할 수있는 고급 RGB 패턴 인식 (advanced RGB pattern recognition) 자산을 사용하여 달성됩니다. 전반적으로 PROMETRIX RS-35C 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 반도체 웨이퍼를 특성화하고 분석하는 안정적인 수단을 제공합니다. 3 개의 다른 프로세스를 하나의 컴팩트 장치 (compact device) 로 결합하여 다양한 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 산업실험실· 연구시설의 중요한 도구로 삼고 있는 "표본의 다른 특성 '을 측정하는 효율적인 방법이다.