판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9281758
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ID: 9281758
웨이퍼 크기: 2"-8"
Resistivity mapping system, 2"-8"
4-Points probe
Vacuum: 300 mm HG
Hard Disk Drive (HDD)
PC
Color monitor
XY Pattern test
Measurement range: 5 mΩ to 5 mΩ
Maps: Average, difference, and ratio
Calibration curves and correlation equations
Trend and SQC charts
Data import and export
ASCII Copy to diskette
Measurement options: Mapping (Up to 625 sites)
Qualification test:
Contour maps
3D Maps
Diameter scans (Up to 625 sites)
Quick tests: Standard and user-definable tests (Up to 30 sites)
Accuracy:
± 0.2% (Standard resistor)
± 1% (NIST Wafer)
Repeatability : <0.2% (1 sigma)
Power supply: 115 / 230 V, 8 A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C는 종합적인 분석 및 결함 감지 기능을 제공하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 제작, 관련 산업과 같은 고급 프로세스 특성 (advanced process characterization) 환경에서 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 다양한 자동, 비자동, 반자동 (semi-automatic) 모드가 장착되어 있어 웨이퍼를 신속하게 분석, 처리할 수 있습니다. 이 장치는 고급 고해상도 이미징 기술을 향상된 이미지 처리, 결함 검사, 자동 결함 분류, 결함 감지 등 정교한 도량형 기능을 갖추고 있습니다. 또한 사용자는 선 너비, 임계 치수 측정, 오버레이 측정, 웨이퍼 응력 측정 (on-wafer stress measurement) 등 다양한 자동 측정을 수행할 수 있습니다. 통합 리소그래피 (lithography) 기능을 사용하면 전체 웨이퍼 영역에 걸쳐 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 도구의 또 다른 주요 구성 요소는 온보드 분석 도구입니다. KLA RS-35C는 다양한 소프트웨어 패키지를 사용하여 사용자가 데이터를 분석할 수 있도록 도와줍니다. Wafer Mapping Asset, Simulator/Analyzer 및 Data Reviewer와 같은 도구를 사용하면 웨이퍼 표면을 쉽고 포괄적으로 검사할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 매개변수 최적화를 위해 통합 그래픽 사용자 입력 (graphical user input) 을 사용하며 결함 감지 및 분석을위한 다양한 분석 알고리즘을 제공합니다. TENCOR RS 35C를 사용하면 관련 프로세스 데이터를 정확하고 신속하게 수집할 수 있습니다. 또한, 이 데이터는 다른 데이터 소스와 결합하여 '프로세스 제어' 매개변수를 최적화할 수 있는 '포괄적인 지표' 를 만들 수 있습니다. 이 장비는 또한 정밀한 감지 (detection) 및 측정 (measurement) 기능으로 인해 확립된 품질 표준을 높은 수준으로 준수할 수 있습니다. 전반적으로, RS 35C는 유능한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 사용자는 프로세스 데이터를 빠르고 정확하게 수집할 수 있습니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 및 도량형 (Metrology) 기능과 결합된 자동화/비자동 (Non-Automated) 기능의 범위는 고급 프로세스 특성 환경에 이상적인 솔루션입니다.
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