판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9276502

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C는 정확성과 반복성에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 재료와 관련된 다양한 특성을 자동화, 가속, 극도로 정확하게 측정 할 수있는 일련의 컴포넌트 (component) 로 구성되어 있습니다. 시스템의 첫 번째 요소는 광학 영역 센서 (Optical Zone Sensor) 로, 개별 웨이퍼의 구조와 특징을 정확하게 검사하는 기초입니다. 이것 은 "와퍼 '의 조그마 한 부분, 심지어" 나노미터' 저울 까지도 상세 히 측정 할 수 있는 특수 광학, 전자 제품 및 "소프트웨어 '가 들어 있는" 스캐너' 장치 이다. 가장 작은 피쳐 크기 (feature size) 에서 다양한 매개변수를 측정하는 기능을 통해 이 머신은 여러 속도, 해상도로 스캔하여 너비 (width), 깊이 (depth) 와 같은 웨이퍼 피쳐 특성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 도구의 Optical Reticle은 웨이퍼 패턴에 대한 완전한 3 차원 분석을 허용합니다. 이 자산은 매우 정확하며, 다양한 패턴을 나노 미터 해상도 (nanometer resolution level) 로 분석 할 수 있습니다. 광학 레티클 (Optical Reticle) 은 또한 웨이퍼 표면에서 입자 크기를 매우 정확하게 결정할 수있는 특수 광학 및 소프트웨어를 사용합니다. 이 모델에는 솔더 범프 (solder bump) 와 스머지 (smudge) 와 같은 물체가 있더라도 웨이퍼 표면에 미크론 크기의 설계 기능을 다방향으로 측정 할 수있는 마이크로 스테퍼 (MicroStepper) 장비가 있습니다. 이 "시스템 '은 두 가지 이상 의 방향 으로부터 측정 할 수 있는 능력 으로, 높은" 레벨' 의 정밀도 로 "나노미터 '척도 까지 측정 할 수 있다. KLA RS-35C 장치에는 AutoAlign 머신도 포함되어 있습니다. AutoAlign 머신은 스캐너 및 광학 레티클의 광학을 웨이퍼 표면의 모든 패턴에 빠르고 정확하게 정렬하도록 설계된 정교한 알고리즘입니다. 이렇게 하면 도구가 취하는 각 측정이 정확하고 오류 없이 이루어집니다. 마지막으로, 스테이션에는 진공 척 (Vacuum Chuck) 자산이 포함되어 있으며, 이 자산은 웨이퍼가 측정 중에 완벽하게 평행하고 레벨이 되도록 보장합니다. 이것 은 매우 중요 한데, 심지어 "웨이퍼 '의 위치 의 약간 의 변화 도 그 결과 를 시정 하지 못하게 할 수 있기 때문 이다. 요약하면, TENCOR RS 35C는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 솔루션을 제공합니다. Optical Zone Sensor, Optical Reticle, MicroStepper, AutoAlign 및 Vacuum Chuck을 포함한 구성 요소 제품군을 갖춘 이 모델은 테스트 된 모든 웨이퍼에 대해 매우 정확하고 안정적인 분석을 제공하도록 설계되었습니다.