판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9266466

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9266466
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Resistivity mapping system, 8" 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C는 대용량, 높은 처리량 성능을 위해 설계된 동적 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA RS-35C는 이전 RS-35 시스템의 업그레이드이며, 고급 표면 도량형, 결함 검사 및 전기 IV 테스트가 가능합니다. TENCOR RS 35C는 최첨단, 레이저 기반 이미징 기술을 사용하여 전례없는 정확도로 나노미터 규모의 3 차원 웨이퍼 이미지를 만듭니다. 단위에 통합된 고급 이미지 분석 (advanced image analysis) 은 다양한 유형의 결함을 감지하며, 이러한 결함은 심각도 수준에 따라 분류됩니다. 이 기계는 또한 누출 전류, 임계 전압, 드레인 소스 전류 (drain-source current) 와 같은 여러 매개변수를 포함하여 웨이퍼의 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한, PROMETRIX RS-35C는 "핫 척 테스트 (hot chuck testing)" 라는 독특한 기능을 가지고 있습니다. "핫 척 테스트 (hot chuck testing)" 는 도구가 따뜻한 환경에있는 동안 웨이퍼의 전기 특성을 측정하여 더 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 핫 척 (Hot chuck) 테스트를 보완하기 위해 에셋에는 고해상도 XY 스캐너 (XY Scanner) 가 장착되어 있어 더 큰 웨이퍼에서 더 정밀하게 측정 할 수 있습니다. 처리량 및 효율성 향상을 위해 RS 35C 에는 "웨이퍼 전송 모델 (wafer transfer model)" 이 포함되어 있어 웨이퍼를 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 전송할 수 있습니다. TENCOR RS-35C (TENCOR RS-35C) 에는 와퍼를 시스템 안팎으로 빠르게 수집 및 방출 할 수있는 진공 장비가 있습니다. RS-35C 는 다양한 소프트웨어 추가 기능 (Add-on) 과 업그레이드 (Upgrade) 를 통해 모든 운영 환경의 구체적인 요구 사항을 충족할 수 있어 사용자 지정 기능이 뛰어납니다. 이 소프트웨어는 유연하고 효율적인 성능을 위해 장치의 광, 전기, 기계 시스템을 제어할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 간편한 제어 및 액세스를 위해 사용자 친화적 인 인터페이스로 설계되었습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35C는 강력하고, 사용자 정의 가능한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구로서, 향상된 성능과 안정적인 결과를 제공합니다. 자산은 고급 이미지 분석 (Advanced Image Analysis) 및 전기 테스트 (Electrical Testing) 기술을 사용하여 정확성을 보장하고 프로세스 성능을 향상시킵니다. 다양한 기능과 맞춤형 구성 기능을 갖춘 KLA RS 35C 는 효율적인 운영 라인 관리에 적합합니다.
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