판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #293795434

KLA/TENCOR RS-35C Wafer Testing and Metrology Equipment는 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 다중 응용 프로그램 도량형 도구입니다. "웨이퍼 테스트 '와" 패키지' 에 대한 검사 에서 가장 높은 요구 조건 을 충족 시킬 수 있다. KLA RS 35C는 박막 두께, 표면 거칠기, 평탄도 측정, 입자 오염 감지 등 반도체 분야에서 다양한 응용 프로그램을 이용할 수있는 다양한 모듈을 제공합니다. 이 멀티 애플리케이션 도량형 시스템은 선형 가변 필터 (Linear Variable Filter) 및 레이저 기반 하위 시스템을 포함한 고급 광학을 사용하여 빠르고 정확한 측정을 제공합니다. 이 장치의 이미징 기능에는 광범위한 웨이퍼 (wafer) 기능과 패턴을 정확하게 감지 및 측정 할 수있는 분할 (split-field) 키필드 이미지 획득 머신이 포함됩니다. 또한 TENCOR RS 35 C에는 자동 웨이퍼 정렬 도구 (Automated Wafer Alignment Tool) 와 웨이퍼 자동 로드 및 언로드를위한 자동 인식 에셋이 있습니다. 이 자동 웨이퍼 정렬 모델은 최대 40 미크론 정렬 정확도를 사용할 수 있습니다. RS-35C (Automated Process Control) 장비를 사용하면 RS-35C 를 제조 제품군과 자동으로 통합하여 품질 관리 및 생산량 관리를 보장할 수 있습니다. 이 시스템은 추세 제어, 프로세스 내 결과, 통계 프로세스 제어, 데이터 마이닝을 위한 처리/분석 소프트웨어와 통합될 수 있습니다. RS 35 C에는 실시간 도량형 계산을위한 다양한 알고리즘이 있습니다. 이러한 알고리즘을 사용하면 복잡한 구조와 서피스에서 여러 피쳐 유형을 동시에 분석할 수 있습니다. KLA RS-35C는 강력한 기계적 설계를 통해 최대 50배까지 높은 반복성과 정확성을 제공합니다. 또한 optics는 독점 코팅 기술을 통해 더 높은 반사율과 향상된 이미지 품질을 제공합니다. TENCOR RS 35C는 다른 도량형 툴과 짝을 이루어 효율적이고 비용 효율적인 도량형 툴킷을 만들 수 있으며, 반도체 업계의 제품 품질을 높일 수 있습니다. 또한 TENCOR RS-35 C 는 원격 진단, 원격 서비스, 기타 기술 지원 등을 지원합니다. 따라서 사용자는 필요한 지원을 신속하게 받을 수 있습니다.