판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284480

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35는 반도체 웨이퍼 제조 및 테스트를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 실리콘, 저마늄, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 인듐 (indium phosphide) 과 같은 다양한 반도체 재료의 측정 및 검사에 사용되는 다기능 고성능 시스템입니다. 이 장치는 고급 광학, 전기 및 열 조사 기술의 조합을 사용하여 웨이퍼 표면 형태, 전기 특성, 화학 조성에 대한 중요한 정보를 제공합니다. KLA RS35 (KLA RS35) 는 웨이퍼 테스트에서 향상된 수준의 정확성과 정밀도를 제공하므로 웨이퍼 (wafer) 표면 기능의 무결성에 대해 높은 수준의 정량적이고 질적인 결정을 내릴 수 있습니다. TENCOR RS 35는 2 차원 광학 프로브 스캔 및 전기 테스트, 정확한 현장 측정을 위한 통합 온라인 도량형 시스템 등 테스트를위한 고해상도 자동 도구를 갖추고 있습니다. 이 기계의 2 차원 광 프로브 스캐닝 (Optical Probe Scanning) 기능은 표면 지형을 측정하는 기능과 스크래치, 범프, 피트 등의 감지 기능을 제공합니다. 전기 테스트 (Electrical Testing) 를 통해 사용자는 다양한 웨이퍼 재료의 저항, 커패시턴스, 인덕턴스 및 전류 누출을 측정 할 수 있습니다. 또한, 도량형 시스템은 개별 레이어의 두께, 실제 레이어, 피쳐 크기, 트렌치 (trench) 심도 등 임계 치수의 자동 측정을 허용합니다. TENCOR RS35 (TENCOR RS35) 는 다양한 모드 (Mode) 로 작동하여 최적의 도구 성능과 견고성을 보장하기 위해 다양한 제조 공정 및 재료의 요구를 충족할 수 있습니다. 이러한 모드에는 수작업 (manual operation), 자동화된 작업 (automated operation) 및 더 큰 운영 실행을 위한 통합 배치 (integrated batch) 모드가 포함됩니다. 첨단 냉각 기능으로 인해 프로세스 안정성이 높아지고, 선택한 웨이퍼 (wafer) 재료에 적합한 온도가 유지됩니다. 또한, 통합 포지셔닝 시스템을 사용하면 테스트 중인 웨이퍼를 쉽고 정확하게 정렬하여 정확성을 보장할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 모듈식 아키텍처로 설계되어 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35가 재료, 프로세스, 어플리케이션 등 특정 업종별 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 이를 통해 고객은 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성된 맞춤형 솔루션을 만들 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX RS35 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 다양한 반도체 웨이퍼 제작 및 테스트 어플리케이션에 최첨단 정확도, 정밀도, 신뢰성을 제공합니다. 고급 광학, 전기 및 열 조사 (electrical, and thermal probing) 기능은 물론, 통합 도량형 시스템에서도 wafer 의 표면 기능에 대한 중요한 질적, 정량적 결정을 내려야 하는 정보를 고객에게 제공합니다.