판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284324

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35는 고급 도량형 기능을 제공하는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 온와퍼 (on-wafer) 특성화, 프로세스 제어, 결함 검토 및 분석 기능을 제공하여 사용 가능한 웨이퍼와 장치를 가장 자세하고 정확하게 분석합니다. 최첨단 이미지 획득 장치를 사용하여 최대 1000 x 1000 픽셀의 2-D 및 3-D 이미지를 신속하게 캡처합니다. 클라라 RS35 (KLA RS35) 는 모든 단계를 통해 운영자를 자동으로 안내하고, 최대 10cm의 스캐닝 범위를 갖는, 동력 단계의 고해상도 광학 머신을 통합합니다. 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 을 통해 스캐닝 프로세스 동안 자동화된 피쳐를 식별하고 최적화할 수 있습니다. TENCOR RS 35는 평면 구조, 라인 너비, 스텝 높이, 테라스 구조 등 반도체 웨이퍼에서 고정밀 장치 기능을 개발하도록 설계되었습니다. 보다 적절한 특성을 위해 광학 산란 측량 및 푸리에 변환 적외선 분광법 (Fourier transform infrared spectroscopy) 을 포함한 다양한 도량형 도구가 장착되어 있습니다. 이러한 도구의 조합을 통해 연구 중인 장치 (device in study) 의 포괄적인 시각화 (visualization) 와 다양한 속성에 대한 매우 정확하고 정확한 측정이 가능합니다. KLA RS-35 에는 데이터 분석 (예: 결함, 이미지, 매개변수 계산) 을 위한 소프트웨어 툴과 데이터 보고 및 관리에 필요한 모든 툴이 추가로 장착되어 있습니다. 데이터 분석 기능을 통해 실시간 3D (3D) 제품 시각화로 결함 및 불규칙성을 감지할 수 있습니다. 또한, 다른 KLA 시스템에 연결하여 자동 프로그램 전송 및 향상된 데이터 동기화를 허용합니다. 전반적으로, RS-35는 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형의 최신 기술 및 리소스를 갖춘 고급 도구입니다. 그 기능, 정확성, 사용 편의성 등으로 반도체 웨이퍼의 고정밀 장치 (HPD) 기능 분석· 개발에 이상적이다.