판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9194116

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35는 얇은 웨이퍼 필름 및 기타 패턴 표면의 효율적인 분석을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 높은 처리량 (throughput) 과 정확성 (accurity) 에 최적화되어 효율성을 극대화하고 인적 개입을 최소화하면서 대규모 운영 볼륨을 처리할 수 있습니다. 이 장치는 KLA 독점 이미지 처리 소프트웨어 및 스캐닝 전자 (scanning electron) 및 원자력 현미경 (atomic force microscopes) 을 포함한 고급 광학 도량형 도구를 사용하여 웨이퍼 표면의 필름 특성을 측정합니다. 여기에는 0.1µm의 작은 샘플의 선 너비, 피치, 임계 치수 및 표면 지형과 같은 지수가 포함됩니다. KLA RS35 는 자동 자가 교정 (automated self-calibration) 기능을 탑재하여 이미징 머신의 정확성을 보장하며, 최소한의 오차로 정확한 측정을 보장합니다. TENCOR RS 35는 결함 분석 및 전기 테스트를 위해 복잡한 결함 모양 및 웨이퍼 (wafer) 워지에 대처하도록 설계되었습니다. 이를 통해 반바지, 열기, 라인 에지 거칠기와 같은 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 라인 모서리, 비아 (vias), 코너 (corner) 와 같은 피쳐를 고속 식별할 수 있는 정교한 피쳐 인식 모듈도 포함되어 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35에는 사용자 생산성을 극대화하기 위해 설계된 여러 가지 다른 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 LCD 터치스크린, 수동 무시 옵션, 실시간 스트리밍, 전체 측정 추적 기능 등이 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 데이터 수집 및 웨이퍼 분석 (analysis) 을 신속하게 수행할 수 있으므로 시간이 크게 단축됩니다. PROMETRIX RS 35는 또한 적응력이 뛰어나 특정 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구를 사용자 정의 할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 웨이퍼 크기, 다양한 유형의 광 도구, 여러 유형의 로봇 웨이퍼 핸들러, 광범위한 현미경 및 SEM 이미징 영역과 호환됩니다. KLA RS 35는 신뢰할 수 있는, 높은 처리량 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산을 찾는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다. 최첨단 기능, 자동화된 운영, 다용도 설계 기능을 갖춘 이 모델은 현재 시장에서 가장 효율적이고 경제적인 제품 중 하나입니다 (영문).