판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9194114

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35는 반도체 웨이퍼 또는 기판에서 전기 매개변수에 대한 고정밀 측정을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 또는 기판의 저항, 커패시턴스 (capacitance), 인덕턴스 (inductance), 유전율 (dielectric constant) 과 같은 매개변수의 정확하고 안정적인 측정을 제공하도록 설계되었습니다. KLA RS35 장치는 광학 간섭법 (optical interferometry) 을 사용하여 웨이퍼 또는 기판의 물리적 매개변수를 매우 높은 정밀도로 측정 할 수 있습니다. TENCOR RS 35 머신은 여러 통합 디지털 프로세싱 및 제어 장치를 사용하여 기본 작업을 수행할 수 있습니다. 조정 가능한 광학 간섭계를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 또는 기판의 물리적 매개변수를 측정합니다. 통합 광학 회절계 (optical-diffractometer) 를 사용하면 도구가 웨이퍼 또는 기판의 스펙트럼 특성을 정확하고 신뢰할 수 있도록 측정할 수 있습니다. RS-35 에셋의 통합 조정 (Integrated Adjustment) 모델은 광학 간섭계를 정확한 해상도 수준으로 설정하고 웨이퍼 (Wafer) 또는 기판 (Substrate) 표면을 매우 정확하게 스캔할 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35에는 임베디드 소프트웨어가 장착되어 있어, 사용자가 장비를 프로그래밍 및 제어할 수 있습니다. 또한 자동화된 교정 (calibration) 및 테스트 (test) 루틴도 제공합니다. 이는 광학 측정의 정확성을 보장하는 데 유용합니다. 이 소프트웨어에는 지침 설명서와 온라인 대화식 도움말 (interactive help) 기능도 포함되어 있습니다. TENCOR RS-35 시스템은 디지털 이미지 처리 장치 (digital image processing unit) 를 통합하여 웨이퍼 또는 기판의 결함을 정확하게 식별 할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 또는 기판의 표면에서 특정 피쳐와 이상을 식별하기 위해 통합 패턴 인식 머신 (integrated pattern recognition machine) 도 포함됩니다. PROMETRIX RS 35 도구는 166 파운드의 소형 무게로 설계되었습니다. 또한, 디지털 컴포넌트의 통합을 통해 자산은 효율적, 최소한의 물리적 요구사항으로 작동할 수 있으며, 따라서 모든 실험실 환경에서 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 모델은 연구, 학술 및 산업 응용 분야에 사용하기에 적합합니다. 마지막으로 RS35 장비에는 포괄적인 서비스 및 지원 패키지도 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 시스템 설정, 조정, 문제 해결에 대한 지원 및 조언을 얻을 수 있습니다. 이 패키지에는 기술 설명서, 온라인 웹 세미나 및 기타 리소스에 대한 액세스가 포함되어 있습니다. 또한 KLA는 완전한 유지 보수 계약 및 서비스를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 장치를 유지 관리하여 최고 수준의 정밀도 (precision) 와 정확도 (accurity) 로 작동할 수 있습니다.