판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9156670

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35 Wafer Testing and Metrology 장비는 웨이퍼 테스트, 검사 및 도량형을 위해 안정적이고 정확하며 강력한 솔루션이 필요한 집적 회로 제조업체를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 몇 가지 모듈식 구성 요소 (웨이퍼 핸들러, 사용자 정의 제어 장치, 광학 및 기계 도량형 도구, 다양한 센서) 로 구성되어 있으며, 특정 장치 측정 및 테스트 구성의 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 통합 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 3축 모션 컨트롤 머신으로 최대 200mm 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 이동을 제공하여 빠른 웨이퍼 위치 지정 및 회전을 가능하게 합니다. 웨이퍼 테스트 및 검사를 위해 KLA RS35에는 에지 검사 도구, 다이 배치 및 결함 식별 자산, 다이 투 다이 분석 모델 (die-to-die analysis model) 등 정교한 광학, 기계 및 전기 도량형 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 TENCOR RS 35에는 집적 회로의 특정 기능 또는 패턴을 측정 또는 검사 할 수있는 고급 도량형 도구 인 MSI (Multi-Sensor Interrogator) 와 웨이퍼의 표면 토폴로지를 측정하는 데 사용되는 장치 인 ASEC (Surface Topology Detector) 가 포함됩니다. 이 장비에는 4 헤드 광학 현미경과 이미지 데이터 캡처를위한 고속 CCD 검출기가 있습니다. 또한 RS 35에는 AutoScan, 에지 검사를위한 자동 시스템, 장애 식별 및 다이-투-다이 측정, AutoFocusPro, 현미경 및 도량형 시스템을위한 자동 초점 장치, AutoTrend 등 다양한 고급 프로세스 제어 솔루션이 포함됩니다. 테스트 시스템의 성능을 모니터링할 수있는 유연한 데이터 트렌드 소프트웨어. 통합 KLA RS-35 소프트웨어 제품군은 wafer tracking, calibration, archival 등 하드웨어, 소프트웨어 및 데이터 관리를 완벽하게 제어합니다. 전반적으로, RS-35 Wafer Testing and Metrology 자산은 하이엔드 웨이퍼 테스트 및 검사를 위한 종합적인 장치이며, 집적 회로 생산을 위해 안정적이고 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델의 정확한 도구와 지능형 프로세스 제어 (Intelligent Process Control) 는 사용이 간편한 소프트웨어 제품군과 결합되어 탁월한 성능과 결과의 정확성을 제공하므로 장치 제조업체가 최고의 품질 (Quality) 칩을 자신있게 생산할 수 있습니다.