판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293798689

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35는 최대 200mm 크기의 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에서 장치 매개변수를 정확하게 측정 할 수있는 포괄적인 비 접촉 도량형 플랫폼을 제공하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 억제 인공 지능 (AI) 기술, 고급 패턴 인식 알고리즘 및 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 의 조합을 사용하여 반도체 장치의 물리적 특성을 식별, 격리 및 정확하게 측정합니다. KLA RS35 장치에는 온와퍼 (On-Wafer) 및 존레벨 (Zone-Level) 지형을 빠르고 효율적으로 측정할 수 있는 듀얼 모드 이미징 머신을 포함하여 처리량 및 정확도를 높이도록 설계된 다양한 기능이 있습니다. 이 기능을 사용하면 로컬 및 글로벌 피쳐를 정확하게 분석할 수 있으며, 높이 (height) 및 너비 (width) 측정 기능을 모두 1nm 정밀도로 분석할 수 있습니다. TENCOR RS 35는 또한 60nm (small) 의 중요한 패턴 기능에 대한 고해상도 매핑 및 분석을 제공하기 위해 특별히 설계된 차세대 이미징 도구를 갖추고 있습니다. 따라서 Contact 및 Gate Structure 및 기타 중요한 디바이스 요소의 정확한 특성을 지정할 수 있습니다. 또한, 고효율 이미지 처리 엔진은 다양한 웨이퍼 (wafer) 구조로부터 수집된 데이터를 신속하게 처리할 수 있으며, 반도체 제조 과정과 관련된 고유한 구조와 구조를 쉽게 식별할 수 있습니다. RS 35 에는 실시간 이미지 수정, 자동 처리, 소프트웨어 기반 인텔리전스 (Intelligence) 를 결합하여 기존 방법을 개선하는 고급 데이터 분석 패키지도 포함되어 있습니다. 이를 통해 자산은 다른 검사 유형에 빠르게 적응하고, 기존 접근 방식에 의해 누락 될 수있는 미묘한 패턴을 식별 할 수 있습니다. 마지막으로, PROMETRIX RS 35에는 직관적인 운영자 인터페이스와 최대 50 개의 웨이퍼 스테이지에 대한 안정적인 지원을 제공하는 고도로 자동화 된 웨이퍼 처리 모델이 제공됩니다. 따라서 수작업 (Manual Loading) 및 웨이퍼 언로드가 필요한 시스템보다 장비가 훨씬 효율적이고 생산적입니다. RS35는 반도체 장치 특성 및 분석을위한 다재다능하고 강력한 시스템입니다. 또한 고해상도 이미징 장치, 이미지 처리 엔진, 고급 데이터 분석 소프트웨어 (Advanced Data Analysis Software) 를 통해 디바이스 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 직관적인 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 와 자동화된 웨이퍼 처리 장치 (Automated Wafer Handling Machine) 를 통해 사용이 간편하며 보다 효율적이고 생산적인 제조 솔루션을 제공합니다.